Юнаков Микола Миколаєвич
Джерело іонів
Номер патенту: 5774
Опубліковано: 29.12.1994
Автори: Качанов Юрій Олександрович, Зиков Олександр Володимирович, Юнаков Микола Миколаєвич, Фареник Володимир Іванович
МПК: H01J 27/02
Формула / Реферат:
Источник ионов с холодным катодом, содержащий газоразрядную камеру с расположенными в ней цилиндрическим анодом, торцевым катодом и перфорированным катодом, магнитную систему и систему формирования ионного пучка, отличающийся тем, что, с целью регулирования распределения плотности ионного тока пучка по его сечению, в газоразрядной камере со стороны торцевого катода соосно аноду установлен цилиндрический электрод с возможностью его...