Резистивний матеріал

РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ, включающий днсилицид хрома и дисилицид тугоплавкого металла, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с і целью расширения диапазона удельного сопротивления в высокоомной области, снижения температурного коэффициента сопротивления и повышения стабильности параметров, в качестве дисилицида тугоплавкого металла он содержит дисилицид титана и дополнительно содержит кальций или барий при следующем количественном соотношении компонентов вес,% : Кальций или барий 1-5 Дисилицид титана 40-60 Дисилицид хрома Остальное І 10127 16 > плавкого металла, в качестве дисиИзобретение относится к электронлицида тугоплавкого металла ной технике и может быть использосодержит дисилицид титана и дополнивано j например, в микроэлектронике тельно содержит кальцин или барий при изготовлении гонкопленочных резисторов для интегральных схем. 5 при следующем количественном соотношении компонентов (вес,% ) : Известен резнстивный материал, содержащий днсилицид хрома и дисилиКальций цид тантала £]j. или барий 1-5 Недостатки известного материала Дисилицид состоят в узком диапазоне удельного Ю титана 40-60 сопротивления и относительно высоДисилицид ком температурном коэффициенте хрома Остальное сопротивления. Для получения резистивного Наиболее близким к изобретению материала было приготовлено шесть техническим решением является резне- 15 составов компонентовs представлятивиый материал, включающий дисилиющих собой гомогенные твердые растцид хрома и дисішицид тугоплавкого воры на основе дисилицида хрома, металла [2J, из которых методом термического Недостатки известного резистивиспарения в вакууме были получены ного материала заключаются в узком 20 тонкопленочные резисторы. диапазоне удельного сопротивления, Составы резистнвного материала относительно высоком температурном и характеристики изготовленных из коэффициенте сопротивления и низкой него тонкопленочных резисторов их стабильности. приведены в таблице. Изобретение позволяет расширить Цель изобретения - расширение 25 диапазона удельного сопротивления, диапазон удельного сопротивления снижение температурного коэффициента в высокоомной области, снизить сопротивления и повышение их стабильтемпературный коэффициент сопротивлености - достигается тем, что известния, повысить стабильность этих ный резистивный материал, включающий параметров и надежность1тонкопленочдисилицид хрома и дисилицид тугоных резисторов. Состав резистивного материала, вес.% гонкопленочных Характеристики ' резисторов Дисилицид Дисили-f Каль- Барий титана цид • ций Толщи- У д е л ь на ное пленки, сопротивмм ление, Температ. к о эф. сопр. 150 1,2 ~5 0,02 150 2,8 —S 0,03 5 30 5,18 -7 0,03, 150 7,0 -3 0,05 і 50 8,2 -7 0,07 150 10.04 -10 0,07 хрома 60 89,0 60,0 39,0 51,0 46,7 53,0 44,5 40,0 55,0 40.0 55,0 1,0 1,0 2,3 2,5 5,0 5,0 1 кг* к" Заказ 1631/ДСП Филиал Ш Ш "Патент"» г.Ужгород, ул.Проектная, U Стабильность, % в течение 1000 час. при !30°С