Сплав на основі алюмінію

Изобретение относится к сплавам на основе алюминия, предназначенным для использования в микроэлектронике в качестве материала для изготовления ультранизкоомных тонкопленочных резисторов различных функциональных устройств. Цель изобретения - расширение диапазона значений удельного поверхностного сопротивления и уменьшение температурного коэффициента сопротивления. Сплав на осноае алюминия содержит компоненты, мас.%: марганец 10-12; никель 8,5-10,5; церий 0,25-0,3; германий 2,1-3,5; алюминий - остальное. Свойства сплава следующие: диапазон уд поверх.сопрот. 0,1-10 Ом/квадрат; ТКС- 10 5 4-2 1/град. 2 табл. О) с СП К) о •1 О см Изобретение относится к сплавам на основе алюминия, предназначенным для использования в микроэлектронике в качестве материала для изготовпения ультранизкоомных тонкопленочных резисторов различных функциональных устройств Целью изобретения является расширение диапазона значений удельного поверхностного сопротивления и уменьшение температурного коэффициента сопротивления резисторов П р и м е р Для опробования предлагаемого и известного алюминиевых сплавов изготовлены мишени (плоские диски 0 125 мм и толщиной 5 мм), химический созтав которых приведен в табл 1 Ультра низ коомные тонкопленочные резисторы из предлагаемого алюминиевого сплава изготавливаются по следующей технологической схеме На вакуумной установке УРМЗ 279 050 доработанной под магнетронное распыление, наносятся на ситалловые подложки реэистивные пленки путем магнетронного распыления мишеней при следующих технологических режимах Ток разряда, А 1,2-1 5 Давление аргона мм рт ст 2 10"3 Напряжение на мишени, В 600-700 Скорость конденсации, °/с 40-50 Проводящие пленки с рэ =0,02 Ом/квадрат на основе двухслойной системы Cu-Ni наносятся в едином цикле с резистивными пленками Конфигурация тонколленочных резисторов 10 15 создается методом фотолитографии Удельное поверхностное сопротивление тонкопленочных резисторов измеряется на приборе ИУС-3, электросопротивление и ТКСна прецизионном потенциометре Р-348 Временная стабильность тонкопленочных резисторов оценивается по относительному изменению их сопротивления за 1000 ч при 125СС Результаты испытаний ультранизкоомных тонкопленочных резисторов, изготовленных из предлагаемого алюминиевого сплава, приведены в табл 2 Таким образом, предлагаемый сплав имеет больший по сравнению с известным диапазон значений удельного поверхностного сопротивления и меньшее значение температурного коэффициента сопротивления Формула изобретения: 20 25 30 СПЛАВ НА ОСНОВЕ АЛЮМИНИЯ преимущественно для тон ко плен очных резисторов, содержащий марганец, никель и церий, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона значений удельного поверхностного сопротивления и уменьшения температурного коэффициента сопротивления резисторов, он дополнительно содержит германий при следующем соотношении компонентов, мае % Марганец 1 0 - 1 2 Никель 8,5 - 10,5 Церий 0,25 - 0,3 Германий 2,1 - 3,5 Алюминий Остальное О СМ 36 ю 40 (О 45 СП ю о so S5 60 -3 Таблица 1 Сплав Содержание компонентов мае % Состав марганец германий никель церий Известный 1 1 5 45 Предлагаемый 2 10,0 85 2,1 0,25 3 11,1 96 2,7 0,28 4 120 105 3,5 0.30 0,15 Таблица 2 Сплав Состав Диапазон Ом/квадрат ТКС 105 1/град Временная стабильность AR/R,%, за 1000 ч при 125°С Известным 1 0 1-0,5 100-80 3 Предлагаемый 2 3 4 0 1 10 4-2 0.3 0 1-10 3 5-2 0,2 0 1-Ю 3,8-2 5 03 О СМ ел о