Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНОЙ ТЕРМОПАРЫ путем вакуумного напыления ветвей термопары через маску, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения производительности процесса изготовления при одновременном увеличении срока службы изготавливаемой термопары, производят напыление анизотропного материа ла в магнитном или электрическом поле через окно маски, имеющее Г-образную форму, причем обе ветви термопары напыляют одновременно.

Текст

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНОЙ ТЕРМОПАРЫ путем вакуумного напыления ветвей термопары через маску, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения производительности процесса изготовления при одновременном увеличении срока службы изготавливаемой термопары, производят напыление анизотропного материала в магнитном или электрическом поле через окно маски, имеющее Г-образную форму, причем обе ветви термопары напыляют одновременно. \(Л У Криє. І 1 Изобретение относится к области термометрии и может быть использовано при изготовлении пленочных термопар. Целью изобретения является повыше ние производительности процесса изго товления при одновременном увеличении срока службы изготавливаемой термопары. Для достижения поставленной цели в способе изготовления пленочной термопары путем вакуумного напыления ветвей термопары через маску производят напыление анизотропного материала в магнитном или электрическом поле через окно маски, имеющее Г-образную форму, Причем обе ветви термопары напыляют одновременно. На фиг. 1 схематически изображено устройство для изготовления термо пары; на фиг. 2 - узел I на фиг. 1 (угловой участок маски). Устройство содержит подложку 1, на которой расположена маска 2 с окном 3, имеющим Г-обраэную форму 233519 2 и электроды 4,5, создающие направленное электрическое или магнитное поле. 10 15 20 25 Напыление ветвей термопары прово4 дят в вакууме не хуже 10~ Па при малых величинах термодинамического пересыщения на изотропную подложку 1 при температурах подложки 290-700 К через Г-образное окно 3 маски 2. Поле прикладывают параллельно подложке 1. Напряженность электрического поля составляет Е=10 - 2,5 х х 10 В/м, магнитного - не менее • "Н ї 3 кЭ. Материалом для термоэлектродов служат сплавы системы переходной металл-полупроводник, обладающие анизотропными магнитными и электрофизическими свойствами, 'например Fe, G e z , Fe^Ge^ и др. Одновременным напылением, используя Г-образное окно маски, на подложке получают две ветви термопары с взаимоперпендикулярными кристаллографическими направлениями. cpusZ Редактор М.Васильева Заказ 543/ДСП Составитель Б.Копаев Техред Н.Бонкало Корректор А.Зимокосов Тираж 575 Подписное ВНИИПЙ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий П3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная,

Дивитися

Додаткова інформація

Автори англійською

Mykolaichuk Oleksii Gordiiovych, Baitsar Ganna Stepanivna, Yatsyshyn Bogdan Petrovych

Автори російською

Николайчук Алексей Гордеевич, Байцар Анна Степановна, Яцишин Богдан Петрович

МПК / Мітки

Мітки: виготовлення, плівкової, термопари, спосіб

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/2-27202-sposib-vigotovlennya-plivkovo-termopari.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб виготовлення плівкової термопари</a>

Подібні патенти