Пристрій регулювання і контролю апертурних отворів при проколі електронним пучком

Пристрій регулювання та контролю апертурних отворів при проколі електронним пучком, який містить в собі загальне джерело живлення, електронно-променевий прилад з розміщеним в ньому підігрівачем, катодом, модулятором, прискорюючим електродом з діафрагмою без отвору, фокусуючим електродом, анодом, сіткою та мішенню з сигнальною пластиною, високовольтне джерело живлення, перший вихід якого з'єднаний з фоку 37786 джерело живлення, перший вихід якого з'єднаний з фокусуючим електродом і анодом, та електронне реле, при цьому загальне джерело живлення зв'язане, відповідно, з підігрівачем, модулятором, з сіткою і мішенню, згідно з винаходом, електронне реле містить регульоване джерело опорної напруги, послідовно з'єднані блок давачів напруги, компаратор, здійснюючий пристрій, блок живлення і індикатор, при цьому, вихід джерела опорної напруги з'єднаний з другим входом компаратора, третій вихід якого з'єднаний з першим виходом блока живлення, другий вихід якого з'єднаний з другим входом здійснюючого пристрою, а третій - з першим входом індикатора, другий вхід якого з'єднаний з першим виходом здійснюючого пристрою, другий вихід якого зв'язаний з катодом, другий вихід блока давачів напруги з'єднаний з прискорюючим електродом, а вхід з'єднаний з другим виходом високовольтного джерела живлення. Таким чином, нове схемне рішення електронного реле, яке містить блок давачів, компаратор і здійснюючий пристрій, а також розділення загального джерела живлення і високовольтного, гальванічний зв'язок яких замінений оптичним, дозволяє блокувати електроди при відключенні режиму проколу, значно зменшує інерційність відключення високовольтного джерела напруги, тим самим забезпечує підвищення точності виготовлення отвору, розширення діапазону його розмірів і покращення відтворювання. На фігурі представлена структурна схема пристрою. Пристрій регулювання і контролю апертурних отворів при проколі електронним пучком містить загальне джерело живлення 1, електронно променевий прилад 2 з розміщеними в ньому підігрівачем 3, катодом 4, модулятором 5, прискорюючим електродом 6 з діафрагмою без отвору, фокусуючим електродом 7, анодом 8, сіткою 9 і мішенню 10 з сигнальною пластиною, високовольтне джерело живлення 11, електронне реле 12, яке містить джерело опорної напруги 13, блок давачів напруги 14, компаратор 15, здійснюючий пристрій 16, блок живлення 17 індикатор 18. Розв'язка джерела живлення пристрою, високовольтного джерела живлення та здійснюючого пристрою здійснена з використанням оптронів. Пристрій працює таким чином. Живильні напруги від джерела живлення 1 подаються на мішень 10 і сітку 9, а висока напруга від високовольтного джерела живлення 11 підключається до фокусуючого електрода 7 та анода 8, а також через блок давачів 14 до прискорюючого електрода 6, в якому проколюється апертурний отвір. В момент утворення отвору в блоці давачів 14 виникає падіння напруги, яке подається на компаратор 15. Внаслідок порівняння напруги від давача 14 та опорної напруги від джерела опорної напруги 13 вихідний сигнал компаратора 15 поступає на здійснюючий пристрій 16, який відключає живлення катода 4 електронно-променевого приладу 2 і цей же сигнал поступає на індикатор 18, де загорається індикаторна лампочка про припинення процесу проколу. Розв'язка між високовольтними колами блока давачів напруги 14, низьковольтними колами компаратора 15 та колами здійснюючого пристрою 16 здійснюється за допомогою використання оптронів. Фіг. __________________________________________________________ ДП "Український інститут промислової власності" (Укрпатент) Україна, 01133, Київ-133, бульв. Лесі Українки, 26 (044) 295-81-42, 295-61-97 __________________________________________________________ Підписано до друку ________ 2001 р. Формат 60х84 1/8. Обсяг ______ обл.-вид. арк. Тираж 50 прим. Зам._______ ____________________________________________________________ УкрІНТЕІ, 03680, Київ-39 МСП, вул. Горького, 180. (044) 268-25-22 ___________________________________________________________ 2