Пристрій для випару матеріалів

Пристрій для випару матеріалів, що складається із технологічної камери, в якій розміщено тигель зі встановленим над ним колектором пари, 3 45045 В основу корисної моделі поставлено задачу створення пристрою для випару матеріалів, в якому за рахунок введення частотного генератора на від'ємному опорі (ЧГЧ) досягається підвищення точності і надійності системи контролю, що призводить до зростання надійності пристрою в цілому. Задача розв'язується тим, що в пристрій для випару матеріалів, що складається із технологічної камери, в якій розміщено тигель з встановленим над ним колектором пари, розташованих ззовні послідовно функціонально з'єднаних нагрівника, мікропроцесорної системи керування нагрівником і системи контролю стану процесу, з ваговим тензометричним сенсором, розташованим над технологічною камерою в окремому корпусі, з зондом, розміщеним в середині технологічної камери, введений частотний генератор на від'ємному опорі (ЧГЧ), вхід якого з'єднаний з виходом вагового тензометричного сенсора, а вихід зі входом системи контролю стану процесу. На креслені представлена структурна схема пропонуємого пристрою, де позначено: 1 - нагрівник; 2 - тигель; 3 - мікропроцесорна система керування нагрівником 1; 4 - колектор пари; 5 - технологічна камера; 6 - система контролю стану процесу; 7 - ваговий тензометричний сенсор (ВТС); 8 - корпус; 9 - зонд; 10 - ЧГЧ. Комп’ютерна верстка М. Ломалова 4 При цьому тигель 2 і розміщені над ним колектор пари 4 та зонд 9 знаходяться в технологічній камері 5. А нагрівник 1, мікропроцесорна система керування нагрівником 3, функціонально зв'язана з нею система контролю стану процесу 6, ЧГЧ 10, корпус 8 і встановлений в ньому ВТС 7 розміщені зовні технологічної камери 5. При цьому вихід ВТС 7 зв'язаний зі входом ЧГЧ 10, вихід якого з'єднаний зі входом системи контролю стану процесу 6, а вихід мікропроцесорної системи керування нагрівником 3 зв'язаний зі входом керування нагрівника 1. Пристрій працює наступним чином. Під час проведення процесу пара матеріалу з тигля 2 осаджується на колекторі пари 4 і зонді 9. Технологічна камера 5 та корпус 8 є вакумованими об'ємами. ВТС 7, виробляє аналоговий сигнал корельований зі зміною ваги нанесеного на зонді 9 і відповідно на колекторі пари 4 покриття. ЧГЧ 10 проводить двох етапне перетворення сигналу спочатку у частотно-модульований, а потім у цифровий вигляд, на основі якого система контролю стану процесу 6 здійснює через мікропроцесорну систему керування нагрівником 3 відповідно до програми заданого технологічного процесу вплив на нагрівник 1, результатом якого є підтримка стану процесу в рамках заданих технологічних умов. Підписне Тираж 28 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601