Пристрій для контролю форми поверхні

Пристрій для контролю форми поверхні, що включає джерело випромінювання, сканер, оптичну систему і позиційно чутливий фотоприймач, який відрізняється тим, що включає датчик положення променя, замість двокоординатного фотоприймача використаний ЛІНІЙНИЙ фотоприймач, а в складі оптичної системи використана растрова лінза фотоприймачів та обмежена роздільна здатність об'єктива Крім того, об'єктив ще й вносить геометричні спотворення в зображенні на фотоприймачі В основу винаходу поставлено задачу вдосконалення пристрою для автоматичного визначення профілю поверхні, який при збереженні всіх інших властивостей прототипів мав би підвищену точність вимірювання Поставлена задача вирішується тим, що використовують одномірну лінійку фотоелементів та оптичну систему з растровою лінзою, що утворює квазиодновимірне зображення поверхні, що контролюється Для визначення координати точки контролю на траєкторії сканування використовують датчик положення променя Запропонована конструкція забезпечує підвищення точності визначення по координаті відхилень профілю поверхні за рахунок значно більшої КІЛЬКОСТІ фотоелементів у лінійному приймачі в порівнянні з матричним, а по координаті вздовж траєкторії сканування - за рахунок використання додаткового датчика Роздільна здатність та КІЛЬКІСТЬ ВІДЛІКІВ ВЗДОВЖ траєкторії сканування не пов'язана зі структурою, чи просторовими характеристиками фотоприймача, а також не обмежена параметрами оптичної системи Вони можуть автоматично регулюватися, змінюватися по заданому закону або в певних зонах контролю Також можлива автоматична зміна розміру та положення зони контролю Це забезпечує можливість більш ретельного аналізу найбільш важливих зон поверхні або деталізації структури дефектних ділянок Регулювання здійснюється електронним шляхом тільки зміною ю о> ю положення зондуючого променя без механічних переміщень оптичної системи, зміни структури та режимів приймального каналу При зменшенні зони сканування можливе автоматичне підвищення роздільної здатності або зменшення часу аналізу профілю поверхні Суть запропонованого винаходу пояснюється кресленням (фіг), на якому зображена блок-схема пристрою для визначення профілю поверхні Пристрій включає лазер 1, ЛІНІЙНИЙ сканер 2, датчик положення променя 3, оптичну систему 5, лінійку фотоприймачів 6 та монітор 7 Пристрій працює таким чином Лазер і сканер формують на поверхні, що контролюється, прямолінійну траєкторію руху світлового зонда Оптична система спрямована під кутом до цієї поверхні і 59549 перетворює зображення поверхні таким чином, що його більший розмір відповідає координаті поверхні перпендикулярній до траєкторії сканування зондуючого променя и розташований вздовж елементів ЛІНІЙКИ фотоприймача Менший розмір або ширина зображення формується таким чином, щоб при скануванні променя вздовж заданої траєкторії зображення весь час було на фотоприймачі Для кожної точки траєкторії сканування променя сигнал з фотоприймача відповідає відхиленню профілю поверхні від прямої лінії Положення точки на траєкторії визначається за допомогою датчика 3 Сигнали з фотоприймача 6 та датчика 3 формують на моніторі 7 зображення профілю поверхні 4, що контролюється Фіг, Комп'ютерна верстка А Крулевський Підписано до друку 06 10 2003 Тираж39 прим Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, Львівська площа, 8, м Київ, МСП, 04655, Україна ТОВ "Міжнародний науковий комітет", вул Артема, 77, м Київ, 04050, Україна