Магнетронний розпилюючий пристрій

Магнетронний розпилюючий пристрій, що має розрядну камеру, магнітну систему з мішеннюкатодом, анод, підкладкотримач та джерело живлення постійного струму, який відрізняється тим, що введена друга магнітна система з мішенню, розташована під кутом 60° - 120° до першої магнітної системи та додаткове джерело живлення, причому перше джерело живлення – низькочастотне, а додаткове – високочастотне, і обидва джерела живлення паралельно підключені до обох магнітних систем. (19) (21) 20040402848 (22) 19.04.2004 (24) 15.01.2007 (46) 15.01.2007, Бюл. № 1, 2007 р. (72) Кучеренко Євген Трохимович, Бедюх Олександр Радійович, Кравченко Олександр Іванович (73) Київський національний університет імені Тараса Шевченка (56) UA 5226, 28.12.1994 DE 04138793, 27.05.1993 EP 0450163, 09.10.1991 US 5660694, 26.08.1997 3 77692 4 лення 4, підключене до магнетронів через елекзитивний заряд на поверхні мішеней магнетронів, тричну ємність С1, та низькочастотне джерело що забезпечує можливість інтенсивного розпороживлення 5, і систему L-С розв'язок 6, яка обмежує шення діелектричних матеріалів. проникнення напруги високої частоти в коло живКрім того, використання в одному пристрої лення джерела 5. двох магнетронів з мішенями з різних матеріалів Магнетронний розпилюючий пристрій працює дозволяє отримувати дво хкомпонентні покриття. таким чином: після відкачування і напускання в Джерела інформації: розрядну камеру робочого газу (як правило - арго1. Данилин Б.С. Применение низкотемперану) до тиску ~0,1 Па (10-3 мм. рт. ст.) вмикається турной плазмы для нанесения тонких пленок. М. джерело живлення 4 і між магнетронами 1 запа«Энергоиздат», 1989. люється високочастотний розряд. В цьому режимі 2. Кучеренко Е. Т., Цымбаревич В, И. Магнегоріння розряду розпорошення практично не тронное распылительное устройство. Патент Уквідбувається тому що електроди, в даному випадраины №5226, С1, 28.12.1994 г. ку мішені 2 магнетронів 1, не приймають достат3. Кучеренко Е. Т., Бедюх А. Р. Магнетронное нього для горіння тліючого розряду від'ємного пораспылительное устройство с лабиринтной зоной тенціалу [4]. Після цього вмикається джерело эрозии. Вопросы атомной науки и техники. Вып. живлення 5. Між магнетронами виникає тліючий 4(5), 5(6), Харьков, 1998 г. ст. 25. розряд магнетронного типу, при горінні якого 4. Майсел Л., Глэнч Р. Технология тонких плевідбувається інтенсивне розпорошення мішеней. нок. Справочник. М. Советское радио, 1977, Високочастотний розряд, в свою чергу знімає пост. 443. Комп’ютерна в ерстка М. Клюкін Підписне Тираж 26 прим. Міністерство осв іт и і науки України Держав ний департамент інтелектуальної в ласності, вул. Урицького, 45, м. Київ , МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислов ої в ласності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601