Спосіб виготовлення носія магнітного запису

Изобретение относится к области накопления информации и может быть использовано при производстве магнитных носителей записи для накопителей информации, например, в бортовых устройствах регистрации полетной информации. Известен способ изготовления магнитной записи (M. lshikawa, N. Tani, T. Yamada, Y. Ota, N. Nakamura, A. ltah, "IEEE Trans. Mag." Mag - 22, №5, 1986, 573 - 575). На металлическую жаропрочную коррозионностойкую подложку в вакууме наносят пленочное покрытие из ферромагнитного материала с высокой температурой Кюри с толщиной 400 - 500Å через промежуточный слой хрома толщиной 3000 - 5000Å с последующим нанесением на ферромагнитное покрытие защитного покрытия, состоящего из слой моноокиси кремния и слоя хрома толщиной от 1000Å до 5000Å. Носители магнитной записи, изготовленные в соответствии с данным способом, сохраняют информацию при воздействии температуры до 600°C в течение одного часа. Недостатком известного способа является то, что изготовленный в соответствии с ним носитель магнитной записи при длительном воздействии высокой температуры в 650°C в течение 5 часов (реальные температуры и время их действия в условиях летных происшествий), теряет магнитные свойства, из-за того, что в ферромагнитный слой диффундирует хром из толстого промежуточного слоя и понижает его температуру Кюри (при содержании до комнатной температуры), что приводит к потере информации. В основу изобретения поставлена задача создания носителя магнитной записи стойкого к длительным термическим нагрузкам, при сохранении оптимальных магнитных свойств носителя магнитной записи и его максимально возможного предела прочности, сохранив при этом его вес, объем и информационную емкость. Поставленная техническая задача решается тем, что наносят в вакууме на коррозионностойкую, жаропрочную металлическую подложку покрытия из ферромагнитного материала с высокой температурой Кюри через промежуточный слой хрома с последующим нанесением на ферромагнитное покрытие защитного покрытия, состоящего из слоя хрома и слоя моноокиси кремния, согласно изобретению ферромагнитное покрытие состоит из не более 7 слоев кобальта толщиной 60 - 70Å каждый, толщина промежуточного слоя хрома составляет 60 - 80Å, количество повторяющихся структур, состоящих из промежуточного слоя хрома, ферромагнитного покрытия и защитного покрытия формируют от 5 до 10, остаточное давление в вакуумной камере во время нанесения защитного покрытия поддерживают 5 ´ 10-5 - 10-5мм рт.ст., проводят отжиг носителя магнитной записи в вакууме при температуре до 400°C не менее одного часа. В качестве магнитного материала многослойного ферромагнитного покрытия взят кобальт, благодаря его оптимально высокой комбинации магнитных свойств которые достигаются соответствующим выбором толщин слоев и их количества, кроме того кобальт отличается от остальных ферромагнитных материалов тем, что сохраняет эти свойства в широком интервале температур, вибрационных и ударных нагрузок. Толщина слоя кобальта выбрана из условия обеспечения оптимальной коэрцитивной силы и максимально возможного предела прочности слоя и составляет величину порядка При толщине кобальта менее 60Å резко падает величина коэрцитивной силы, а при толщине выше 70Å падает предел прочности слоя. Количество слоев кобальта в ферромагнитном покрытии выбрало из условия обеспечения величины остаточной магнитной индукции и составляет 5 - 6 слоев, при этом толщина ферромагнитного покрытия будет равна величине порядка коэрцитивной силы а величина останется в пределах оптимума Количество ферромагнитных покрытий, состоящих из в носителе магнитной записи выбрана из условий обеспечения оптимальной величины амплитуды сигнала записи, ограниченной снизу минимально допустимым сигналом воспроизведения, а сверху адгезией многослойной структуры к подложке и появлением копир-эффекта и равно: Толщины подслоя хрома (хром выбран в качестве промежуточного слоя благодаря его адгезионным свойствам, кроме того хром повышает коррозионную стойкость кобальта и его жаропрочность) и защитного покрытия, состоящего из слоя хрома и моноокиси кремния нанесенных поочередно на ферромагнитное покрытие, выбраны чтобы температура Кюри ферромагнитного кобальтового покрытия не понизилась ниже 800°C даже в том случае, если бы весь хром продиффундировал в кобальтовое покрытие при длительном воздействии высокой температуры на носитель магнитной записи и должны составлять величину не более 20% от толщины ферромагнитного кобальтового покрытия и равны величине порядка 60 - 80Å. Величина остаточного давления в вакуумной камере во время нанесения защитного покрытия выбрана для обеспечения минимально возможных суммарных напряжений действующих на подложку, равна 5 ´ 10-5 - 10-5мм рт.ст., когда растягивающие напряжения, возникающие в беспримесных структурах, при выбранной толщине ферромагнитного покрытия 300 420Å, уравновешиваются сжимающими напряжениями, возникающими в структурах с примесями при выбранном остаточном давлении 5 ´ 10-5 - 10-5 мм рт.ст во время нанесения защитного покрытия. После нанесения защитного покрытия носитель магнитной записи подвергают отжигу в вакууме 105 мм рт.ст., при температуре 400°C в течение 1 часа для обеспечения образования дополнительного жаропрочного коррозионностойкого слоя, формирующего между слоями хрома и моноокиси кремния вследствие диссоциации части моноокиси кремния на кислород и кремний и образования соединения которое имеет высокую стойкость против окисления при воздействии высокой температуры (0,07мг/час при 1300°C) и сохраняет свою сплошность до температуры не менее 900°C. На чертеже (фиг.) изображен термостойкий носитель магнитной записи, поперечное сечение. Носитель магнитной записи содержит подложку 1 из магнитного коррозионностойкого сплава, например 14НХКГ, на которую в вакууме, например 10-5мм рт.ст. через промежуточный слой 2 из хрома осаждают ферромагнитое покрытие 3, состоящее из 5 - 6 - ти слоев кобальта 4, толщиной ~60Å каждый. На ферромагнитное покрытие 3 поочередно осаждают слой хрома 5, толщиной ~60Å и слой моноокиси кремния в вакууме, например, 10-5мм рт.ст. Носитель магнитной записи содержит от 5 до 10 таких структур 7. После нанесения этих структур носитель магнитной записи подвергают отжигу в вакууме при величие остаточного давления 10-5мм рт.ст. при температуре 400°C в течение одного часа. В результате отжига образуется слой Носитель магнитной записи, изготовленный в соответствии с предложенным способом, сохраняет информацию при длительном воздействии высокой температуры - 5 часов при и кратковременном воздействии высокой температуры - 1 час при Заявленный способ может быть освоен как в лабораторных условиях, так и в промышленности для серийного выпуска носителей магнитной записи, например, для накопителей информации бортовой аппаратуры.