Інтерференційний спосіб визначення геометричних розмірів об’єктів

Изобретение относится к измерительной технике, к определению геометрических размеров объектов оптическими методами Цель изобретения — обеспечение определения размеров прозрачных объектов поспедством совместного использования интерференции в монохроматическом и белом свете. Способ осуществляется следующим образом. Устанавливают объект измерения в рабочем плече интерферометра, перемещают объект параллельно его оси фиксируют начало и конец измерений по возникновению ахроматической интерференционной ка*ртины в белом свете, производят счет интерференционных полос монохроматического излучения, укладывающихся в промежутке между сигналами в белом свете, определяют размер объекта по общему количеству полученных интерференционных аолос монохроматического излучения. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. Изобретение относится к измерительной технике к определению геометрических размеров объектов оптическими методами. Цель изобретения — обеспечение опре деления размеров прозрачных объектов посредством совместного использования интерференции в монохроматическом и белом свете На фиі. 1 приведена схема устройства, реализующая предложенный способ; на фиг 2 — эпюры полос интерференции в монохроматическом 4 (внизу) и белом (вверху) свете. Устройство выполнено по схеме интерфе рометра Майкельсона и содержит источник 1 монохроматического (Лі) света, источник 2 белого {.Хг } света, по ходу лучей которых расположены светоделительный элемент 3, эталон 4 Фабри-Перо, референтное зеркало 5, счетчик 6 полос. Эталон 4 ФабриПеро и референтное зеркало 5 находятся в референтном плече интерферометра, а объект 7 — в рабочем. Изобретение осуществляется следующим образом. Устанавливают объект 7 измерения в рабочем плече интерферометра (фиг. 1) Перемещают объект 7 измерения параллельно его оси. Фиксируют начало и конец измерений по возникновению ахроматической интерференционной картины в белом свете (фиг 2) Производят счет сигналов (интерференционных полос) монохроматического излучения, укладывающихся в промежутке между сигналами в белом свете (фиг 2) Определяют размер объекта по общему количеству полученных интерференционных полос монохроматического излучения. При необходимости измерения объектов 7 с размерами, превышающими размер референтного плеча интерферометра, используется многократное отражение луча бело w СЮ со 1483249 обеспечения определения размеров прозрачных объектов, дополнительно направляют в интерферометр белый свет, объект перемещают вдоль направления луча света, а количество полуволн монохроматического света определяют между импульсами белого света, соответствующими ахроматическим интерференционным картинам, образованным границами объекта. го света от полупрозрачных плоских зеркал эталона 4 Фабри-Перо, что увеличивает дискретно оптическую длину референтного плеча на величину, кратную размеру эталона 4 Фабри-Перо Формула изобретения 1 Интерференционный способ определения геометрических размеров объектов, за- 10 ключающийся в том, что объект помещают в рабочее плечо интерферометра, направляют в интерферометр монохроматический свет и по количеству полуволн света, укладывающихся в размеры объекта, определяют его размеры, отличающийся тем, что, с целью 15 Ч ч \/ 2 Способ по п 1, отличающийся тем, что, с целью обеспечения определения размеров объектов, превышающих длину референтного плеча интерферометра, увеличивают длину референтного плеча посредством размещения в нем эталона Фабри-Перо Л у г \/ -/ \ — —I \1 Фаг 1 ZVIAAZVIIAM/L Фае Л Составитель Б Евстратов Редактори Сегляник Техред И Верес Корректор Э Лончакоаа Заказ 2814/36 Тираж 683 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж—35, Раушская наб , д 4/5 Производственно-издательский комбинат «Патент», г Ужгород, ул Гагарина 101