Пристрій для обробки виробів у вакуумі

Изобретение относится к технике упрочнения режущего инструмента и деталей машин методом вакуумно-плазменной технологии. Цель изобретения упрощение конструкции * В вакуумной камере 1 размещен изолированный подложкодержатель 2 для подложек 3 . Экран 6 служит для формирования границы металлической плазмы между катодом 5 электродугового испарителя и анодом 4 . Источник (И) 7 постоянною тока отрицательным полюсом соединен с катодом 5, а положительным - с об 0-89 щим выводом двухпозиционного п е р е ключателя 8, два позиционных вывода которого подключены к подложкодержателю 2 и аноду 4 с о о т в е т с т в е н н о . Управление переключателем 8 производится с помощью регулятора 9 температуры. Благодаря наличию границы металлической плазмы, являющейся плазменным катодом не самостоятельного г а зового разряда, возможно применение одного И 7. В этом случае две р а з н о родные в физическом отношении области дугового разряда в парах металла к а тода 5 и не самостоятельного г а з о в о г о разряда включены в цепь И 7 последов а т е л ь н о . Использование устройства позволяет провести быстрый нагрев подложки 3, когда анодом разряда я в ляется подложка 3 . Кроме т о г о , в о з можно проведение процесса химикотермической обработки в необходимом температурном интервале при максимально активной газовой среде ( т о к разряда в процессе поддержания температуры на необходимом уровне о с т а ется посто інньїм) . 2 ил. ч ю 1 1466260 Изобретение относится к области ния которых записываются через норнанесения покрытий в вакууме и может мально открытые 15 и нормально забыть использовано в технике упрочнекрытые 14 контакты регулятора 9 темния режущего инструмента и деталей пературы. 5 машин методом вакуумно-плазменной В качестве регулятора 9 температехнологии. туры используется самопишущий потенЦелью изобретения является упроциометр КСП-4. Датчиком температуры щение конструкции з а счет исключения является хромель-алюмелевая термодополнительного источника питания 10 пара, укрепленная на подложке 3. Ток для нагрева лодложкодержателя. разряда ограничивается с помощью балластного реостата -^0,25 Ом. НаНл фиг, 1 изображена конструкпряжение источника 7 питания - 80 В. тивная схема предлагаемого устройстНапряжение на электродах разряда прив а ; на фиг. 2 показаны элементы элек- ^ — Я давлении 1*10 мм р т , с т . ~ 5 0 В. трической схемы устройства. Сила тока разряда *-120-130 А. Устройство для обработки подложек Устройство работает следующим обв вакууме состоит из рабочей камеры разом. Рабочую камеру 1 откачивают \, в которой размещены изолированный подложкодержатель 2 для установки 20 до давления ~-(l-5) • 10" мм р т . с т . , производят напуск азота до давления обрабатываемых подложек 3, анод 4 1'10 - 5 ' 1 0 ' мм р т . с т , и поддержинесамостоятельного г а з о в о г о разряда вают его на необходимом уровне. и катод 5 электродугового испарителя Включают источник питания 7, и с металлов. Между катодом 5 , с одной помощью системы поджига зажигается стороны, и подложкодержателем 2 и . 25 р а з р я д . Пока, температура подложек 3 анодом 4, с другой стороны, размещен ниже рабочей, регулятор 9 температуоптически не прозрачный экран 6, ры переводит переключатель 8 в полоразделяющие рабочую камеру 1 на два жение, при котором положительный п о отсека. люс источника питания подключен к Электропитание дугового испарите- 30 подложкодержателю 2. В этом случае ля осуществляется от источника 7 п о с вся доля энергии, выделяющаяся на тоянного тока, который своим отрицааноде, приложена к подложкам 3 и они тельным полюсом соединен с катодом прогреваются с максимально возможной 5, а положительным - с общим выводом скоростью. После прогрева подложек 3 управляемого двухпозиционного пере„ регулятор температуры 9 переключает ключателя 8. Два позиционных вывода переключателем 8 источник 7 питания переключателя 8 соединены с подложна анод 4 и разряд при том же токе кодержателем 2 и анодом 4. Управлесуществует между катодом 5 и а н о ние переключателем 8 осуществляется дом 4 , от регулятора 9 температуры. Источ- до Поддержание температуры подложек ник питания 7 постоянного тока с о с 3 на необходимом уровне осуществлятоит из трехфазного трансформатора ется переключением тока разряда с 10 и коммутирующего выпрямителя, с о подложкодержателем на анод 4 и надержащего диоды 11 и две тнристорные оборот . Особенностью проведения прогруппы і 2 и 13, в цепи управления .г цесса является то, что подложка 3 при которых подключены нормально замкнупроведении рабочего процесса помещетые и нормально разомкнутые контакты на в газовую плазму с неизменными 1Ь, и 15 соответственно регулятора 9 параметрами, что способствует стабилизации процесса и максимальной с к о температуры. Датчиком регулятора 9 рости его проведения. При включении температуры служит термопара 16, под50 температура подложек 3 ниже рабочей соединяемая к подложкам 3 . Огранитемпературы, поэтому контакты 14 речение тока разряда производится с гулятора температуры замкнуты, а конпомощью балластного резистора 17. такты 15 разомкнуты. После n p o r p e s j Для электропитания дугового испаподложки 3 до рабочей температуры рителя используют трехфазный источконтакты 14 размыкаются, л конт ткты ник 7 питания с выпрямителем по схеме 15 замыкаются. Разряд переноднтся Ларионова. В качестве переключателя с изделия на анод 4 . В результате используются включенные попарно в подложка 3 начинает охл..и даться . каждую фазу тиристоры, цепи управле 1466260 два отсека, в одном из которых устаВключением и отключением тиристорних новлен электродуговой испаритель, а групп 12 и 13 температура подложки в другом - поддожкодержатель, и анод 3 поддерживается на заданном уровне. несамостоятельного газового разряда, источник питания электродугового исДанная установка конструктивно парителя и регулятор температуры более простая за счет использования подложкодержателя,' о т л и ч а ю одного источника питания постоянного щ е е с я тем, что, с целью упрощетока (вместо двух, применяемых в прототипе, для питания электродугово- 10 ния конструкции, в качестве катода несамостоятельного газового разряда го и не самостоятельного газового использован катод электродугового разрядов). испарителя, при этом положительная клемма источника питания электродуФ о р м у л а и з о б р е т е н и я 15 гового испарителя соединена с общим выводом двухпозиционного переключаУстройство для обработки подложек теля, управляемого регулятором темпев вакууме, содержащее подложнодержаратуры, причем выходные клеммы перетель, электрически изолированный от ключателя соединены с подложкодержарабочей камеры, электродуговой испателем и с анодом не самостоятельного ритель, оптически не прозрачный эк- 20 газового разряда соответственно. ран, разделяющий рабочую камеру на Редактор В. Фельдман Составитель И. Фишель Техред М.Ходанич Корректор М. Пожо Тираж 645 Подписное Заказ 369/ДСП В И П Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР НИИ 1ПОЗЗ, Москва, Ж-3 5, Раушская наб., д. 4/5 Проиэводственни-и-здлтельскин комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101