Спосіб вимірювання малого радіуса сполучення площин об’єкта

Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Спосіб вимірювання малого радіуса сполучення площин об'єкта, який полягає у тому, що об'єкт орієнтують у просторі вимірювального приладу і контрольоване сполучення послідовно сканують на деякій ділянці по його довжині у декількох перетинах, які перпендикулярні лінії перетинання площин, що утворюють зазначене сполучення, і визначають шуканий радіус по величині характеристичного сигналу, який відрізняється тим, що орієнтацію об'єкта здійснюють таким чином, щоб одна з поверхонь об'єкта була перпендикулярна оптичній осі вимірювального приладу, причому як вимірювальний прилад використовують растровий електронний мікроскоп, а сканування контрольованого сполучення здійснюють пучком електронів при таких збільшеннях у напрямках сканування, які забезпечують одночасне спостереження протяжної ділянки сполучення з максимально можливим розміром його по ширині, при цьому реєструють сигнал вторинних електронів і, розрахувавши середню по довжині сполучення ширину смуги його зміни, визначають радіус по формулі

де Н - середня ширина смуги зміни сигналу;

КY - збільшення у напрямку, що перпендикулярний лінії перетинання площин;

 - кут між площинами, що сполучаються.

Текст

Спосіб вимірювання малого радіуса сполучення площин об'єкта, який полягає у тому, що об'єкт орієнтують у просторі вимірювального приладу і контрольоване сполучення послідовно сканують на деякій ДІЛЯНЦІ по його довжині у декількох перетинах, які перпендикулярні лінії перетинання площин, що утворюють зазначене сполучення, і визначають шуканий радіус по величині характеристичного сигналу, який відрізняється тим, що орієнтацію об'єкта здійснюють таким чином, щоб одна з поверхонь об'єкта була перпендикулярна оптичній осі вимірювального приладу, причому як вимірювальний прилад вико ристовують растровий електронний мікроскоп, а сканування контрольованого сполучення здійснюють пучком електронів при таких збільшеннях у напрямках сканування, які забезпечують одночасне спостереження протяжної ділянки сполучення з максимально можливим розміром його по ширині, при цьому реєструють сигнал вторинних електронів і, розрахувавши середню по довжині сполучення ширину смуги його зміни, визначають радіус по формулі Р= _н_

Дивитися

Додаткова інформація

Автори англійською

Zaloha Viliam Oleksandrovych

Автори російською

Залога Вильям Александрович

МПК / Мітки

МПК: G01N 21/00, G01B 11/24

Мітки: площин, вимірювання, малого, спосіб, радіуса, сполучення, об'єкта

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/4-45759-sposib-vimiryuvannya-malogo-radiusa-spoluchennya-ploshhin-obehkta.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб вимірювання малого радіуса сполучення площин об’єкта</a>

Подібні патенти