Пристрій для різання монокристалів на пластини

Пристрій для різання монокристалів на пластини, який містить корпус, торцевий асинхронний електродвигун, статор якого виконаний з двох кі 3 77529 4 тродвигуна. Одночасно, шляхом зменшення пристрою для різання монокристалів на пластини кількості електричних обмоток, істотно без корпусу та обмоток. спрощується конструкція пристрою для різання Пристрій містить торцевий асинхронний елекмонокристалів, підвішується його стійкість до тродвигун, статор якого виконано з двох елементів впливу шкідливих факторів процесу різання та - не активного елемента, який у свою чергу містить істотно знижується споживання електричної внутрішній сегмент 1 та зовнішній сегмент 2, а енергії. також активного елемента 3 з електричними обПоставлена задача досягається тим, що в мотками 4, які створюють у робочому зазорі торпристрої для різання монокристалів на пластини, цевого асинхронного електродвигуна магнітне поякий містить торцевий асинхронний електродвиле, що обертається навколо його осі. Внутрішній гун, статор якого виконано у вигляді двох сегмент 1 та зовнішній сегмент 2 не активного кільцевих елементів, на повернутих одна до одної елемента статора та активний елемент 3 статора поверхнях яких закріплені обойми повітряних або розташовані симетрично відносно загальної осі гідравлічних підшипників, алмазне відрізне коло, симетрії. Внутрішній сегмент 1 закріплено за дорозмішене між обоймами повітряних або помогою різьбових шпильок 5, що дозволяє йому гідравлічних підшипників, основу для кріплення зміщуватися відносно зовнішнього сегмента 2 та монокристалу, розміщену совісно з торцевим активного елемента 3, змінюючи, таким чином, асинхронним електродвигуном з можливістю величину робочого зазору торцевого асинхронного переміщення уздовж його осі, згідно винаходу, електродвигуна. На поверхнях елементів статора, один з кільцевих елементів статора виконано не які повернуті одна до одної, розташовані обойми активним - без електричних обмоток, та двоскладповітряних або гідравлічних підшипників 6, на не ним - у вигляді двох сегментів товстостінних активному елементі статора обойма закріплюється циліндрів, один у другому, при цьому внутрішній на внутрішньому сегменті 1 або зовнішньому сегмент закріплюється на корпусі пристрою для сегменті 2 - на тому, який ближче до активного різання монокристалів на пластини за допомогою елементу 3 статора, що, у свою чергу, різьбових шпильок, які дають йому змогу визначається потребами технологічного процесу зміщуватись відносно зовнішнього сегмента та різання даного монокристалу. У зазорі між обойактивного елемента статора уздовж осі торцевого мами повітряних або гідравлічних підшипників 6 асинхронного електродвигуна. Зміщення розміщують алмазне відрізне коло 7 з внутрішньої внутрішнього сегмента не активного елемента ріжучою крайкою. Зовнішній діаметр алмазного статора торцевого асинхронного електродвигуна відрізного кола 7 менше зовнішнього діаметру стаприводить до зміни величини робочого зазору між тора торцевого асинхронного електродвигуна. ним та активним елементом статора з електричМонокристал 8 встановлюють усередині алмазноними обмотками. Величина робочого зазору, у го відрізного кола 7 на основі 9, яка спроможна свою чергу, визначає величину електромагнітних переміщатися вдовж осі торцевого асинхронного сил, які діють на алмазне відрізне коло при електродвигуна, як показано стрілками на фіг.1, і, незмінних параметрах електроживлення торцевотаким чином, визначати товщину пластини, яка го асинхронного електродвигуна. відрізається. Торцевий асинхронний електродвиТехнічним результатом є можливість завдяки гун розміщено у корпусі 10, верхня частина якого регулюванню величини робочого зазору, має можливість підніматися, повертаючись навкозмінювати величину вектора магнітної індукції у ло шарніру 11, що необхідно для встановлення та робочому зазорі торцевого асинхронного електрозняття алмазного відрізного кола 7. Внутрішній двигуна, отже змінювати величину сегмент 1 та зовнішній сегмент 2 не активного електромагнітних сил, які діють на алмазне елемента статора, а також його активний елемент відрізне коло. Це дозволяє встановлювати такий 3, обойми повітряних або гідравлічних підшипників робочий зазор, який забезпечує оптимальний ре6 виконані кожний з двох дзеркально симетричних жим різання даного монокристалу, тобто частин відносно осі торцевого асинхронного елекзабезпечує необхідні величини частоти обертання тродвигуна. алмазного відрізного кола та сили різання. Різання Пристрій працює наступним чином. монокристалу на оптимальному режимі Алмазне відрізне коло 7 розміщують у робозабезпечує максимальну продуктивність пристрою чому зазорі торцевого асинхронного електродвидля різання монокристалів на пластини. При гуна, де обертається магнітне поле, створене акрізанні монокристала не активний елемент статотивним елементом 3 статора з обмотками 4. При ра, який не має електричних обмоток, практично взаємодії струмів індукції алмазного відрізного не ушкоджується продуктами різання та кола 7 з обертовим магнітним полем виникають забезпечує значне зниження у споживанні електромагнітні сили, які приводять його до оберелектричної енергії. Деяке зменшення потужності тального руху. Внутрішній сегмент 1 не активного торцевого асинхронного електродвигуна не елемента статора за допомогою різьбових шпильвпливає негативно на технологічній процес ок 5 встановлюють в таке положення відносно різання, тому що безпосередньо розрізування моактивного елементу 3 статора, яке забезпечує нокристалу потребує відносно малу потужність у заздалегідь визначену величину робочого зазору порівнянні з загальною потужністю пристрою для між ними. Зміна величини робочого зазору між різання монокристалів на пластини. внутрішнім сегментом 1 та активним елементом 3, На фіг.1 показаний фронтальний вид приу свою чергу, приводить до зміни величини вектострою для різання монокристалів на пластини ра магнітної індукції у робочому зазорі торцевого (обмотки показані умовно); на фіг.2 - вид зверху асинхронного електродвигуна. При зменшенні цьо 5 77529 6 го зазору модуль вектора магнітної індукції тобто за рахунок крутячого моменту зростає та зростають електромагнітні сили, й наелектромагнітних сил, які діють на алмазне впаки. Це дозволяє регулювати величину відрізне коло 7 у обертовому магнітному полі торелектромагнітних сил, які діють на алмазне цевого асинхронного електродвигуна. Можливе відрізне коло 7, а значить частоту його обертання часткове зміщення обертового магнітного поля, та величину сили різання. Таким чином, коли статор виконано роз'ємним з можливістю забезпечується оптимальний режим різання монопереміщення, наприклад, окремих полюсних кристалу 8. Завдяки тому, що зовнішній діаметр ділень. Це доцільно при великих габаритах статоалмазного відрізного кола 7 менший за зовнішній ра торцевого асинхронного електродвигуна. Перед діаметр статора, доки алмазне відрізне коло 7 не завершенням процесу різки алмазне відрізне коло виходить за вказаний зовнішній діаметр, воно на7 повертають у положення стійкої рівноваги та у ходиться у положенні стійкої рівноваги. У положенні, близькому до вихідного, закінчують положенні рівноваги перекриття робочого зазору процес різання. Оскільки при різанні необхідно торцевого асинхронного електродвигуна алмазним точно витримувати положення алмазного відрізним колом 7 розподілено рівномірно за доввідрізного кола 7 відносно монокристала 8 у осьожиною кола статора торцевого асинхронного елеквому напрямку, його додаткова стабілізація тродвигуна, а тому електромагнітні сили, які вишздійснюється повітряною або гідравлічною подуштовхують алмазне відрізне коло 7 з робочого кою. Вона створюється у робочому зазорі обоймазазору до осі торцевого асинхронного електродвими повітряних або гідравлічних підшипників 6, які, гуна, взаємо врівноважуються. При зміщенні аліз урахуванням можливого зміщення алмазного мазного відрізного кола 7 з положення рівноваги, відрізного кола 7 у процесі різання, виготовляють наприклад, догори (відносно виду на фіг.2), у декілька більш ширшими, ніж статор торцевого верхній частині статора площа перекриття його асинхронного електродвигуна. Для заміни зношезазору алмазним відрізним колом 7 зростає, а у ного алмазного відрізного кола 7 піднімають верхнижній частині - зменшується. Відповідно зростаню частину корпуса 10. Повертаючись навколо ють електромагнітні сили у верхній частині статошарніру 11, верхня частина корпусу 10 відкриває ра, які намагаються виштовхнути алмазне відрізне доступ до алмазного відрізного кола 7. Товщину коло 7 з робочого зазору в напрямку до осі торцепластини, що буде відрізатися, задають вого асинхронного електродвигуна та зменшуютьпопереднім переміщенням, уздовж осі симетрії, ся такі сили у нижній частині. Таким чином основи 9 з монокристалом 8 відносно алмазного забезпечується стійка рівновага алмазного відрізного кола 7, як це показано стрілками на відрізного кола 7. Коли, у якомусь місці, алмазне фіг.1. З метою поліпшення умов охолодження та відрізне коло 7 виходить за зовнішній діаметр стазменшення зносу алмазного відрізного кола 7, що тора торцевого асинхронного електродвигуна, то забезпечує зростання його строку служби, при напрямок дії електромагнітних сил може змінитися використанні гідравлічної подушки застосовують на протилежний - від осі торцевого асинхронного мастильно-охолоджуючу рідину. електродвигуна. У такому випадку алмазне Використання даного пристрою для різання відрізне коло 7 вийде з положення стійкої монокристалів на пластини дозволяє: рівноваги. - змінювати величину робочого зазору торцеТорцевий асинхронний електродвигун з алвого асинхронного електродвигуна і, таким чином, мазним відрізним колом 7, яке обертається у рорегулювати величину електромагнітних сил, що бочому зазорі завдяки магнітному полю, дає можливість забезпечити оптимальний режим переміщають вниз відносно монокристалу 8 (см. різання даного монокристалу; фіг.2). Алмазне відрізне коло 7 ріжучою крайкою - значно зменшити споживання електричної входить у дотик з монокристалом 8 та починає енергії; його різати. При цьому алмазне відрізне коло 7 - підвищити надійність пристрою для різання зміщується відносно положення стійкої рівноваги, монокристалів на пластини завдяки зменшенню тобто вихідного положення, за рахунок чого елементів з електричними обмотками, які легко створюється радіальна складова сили різання. ушкоджуються під впливом шкідливих факторів Тангенціальна складова сили різання створюється технологічного процесу різання. завдяки обертанню алмазного відрізного кола 7, 7 Комп’ютерна верстка М. Клюкін 77529 8 Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601