Пристрій для електронно-променевого полірування виробів

Реферат: Пристрій для електронно-променевого полірування виробів містить блок завантаження виробів, ниткоподібний катод електронно-променевої гармати, який залишається нерухомим, прикатодний електрод і анод, які конструктивно з'єднані між собою і обертаються навколо ниткоподібного катода, причому прикатодному електроду і аноду, які конструктивно з'єднані між собою та обертаються навколо ниткоподібного катода, надаються додаткові напрямки та прямолінійний рух вздовж нерухомого катода. UA 117366 U (12) UA 117366 U UA 117366 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 Корисна модель належить до електронно-променевої техніки і може використовуватися для технологічних процесів полірування, термообробки, зміцнення та інших електронно-променевих процесів обробки виробів оптичної промисловості, мікроелектроніки, інтегральної оптики. Відомий пристрій для електронно-променевого полірування виробів, який має вертикально розташований ниткоподібний катод електронно-променевої гармати, блок завантаження виробів, які складають співвісну концентричну систему з можливістю обертання навколо осі, яку утворює ниткоподібний катод. Даний пристрій дозволяє обробляти поверхні як плоскі, так і з кривизною [1]. Проте такий пристрій накладає суттєві обмеження на технологічні можливості більш якісного процесу полірування. Найбільш близький за технічним рішенням, щодо підвищення якості процесу полірування, є пристрій, в якому прикатодному електроду і аноду гармати надається обертальний рух навколо катода [2]. Проте такий пристрій накладає обмеження на продуктивність процесу полірування виробів, яке полягає в наступному. Обертальний рух гармати забезпечує обробку стрічковим електронним потоком лише обмеженої кількості виробів (виробів, які розташовані у блоці завантаження напроти електронно-променевої гармати і які перекриваються електронною стрічкою) (фiг. 1) [2]. Поставлена задача підвищення продуктивності процесу полірування вирішується таким чином. На Фіг. 2 відображені основні частини пристрою, який пропонується для електроннопроменевого полірування виробів. Пристрій складається з таких основних елементів і працює наступним чином: електронно-променева гармата, до якої входить анод із щілиною -1, прикатодний електрод 2, які з'єднані нерухомо, та ниткоподібний катод 3 розташований всередині блока завантаження 4 з виробами 5 таким чином, щоб ниткоподібний катод співпадав з віссю обертання анода і прикатодного електрода. Вироби 5 для електронно-променевого полірування розміщуються на боковій поверхні блока завантаження, який має форму циліндра, напроти щілини анода електронно-променевої гармати. Прикатодний електрод і анод можуть обертатися навколо ниткоподібного катода у різних напрямках із швидкостями ω 1 і ω2. Аналогічно може обертатися і блок завантаження з виробами із швидкостями ω 3 і ω4. Відмінністю від відомих пристроїв є те, що електронно-променевій гарматі, яка обертаються навколо осі нерухомого катода, надаються додатковий напрямок та прямолінійний рух із швидкістю V1 та V2 вздовж нерухомого катода (фіг. 2). Таким чином, прикатодний електрод і анод, які конструктивно з'єднані між собою та обертаються навколо ниткоподібного катода, можуть рухатися вздовж катода. За рахунок прямолінійного переміщення пристрою вздовж нерухомого катода забезпечується електроннопроменеве полірування виробів площею, яка практично може дорівнювати внутрішній площі блока завантаження виробів. Технічне рішення, яке пропонується, забезпечує підвищення продуктивності полірування стрічковим електронним потоком виробів із загальною площею, яка практично дорівнює площі блока завантаження. Такий результат досягається тим, що прикатодний електрод і анод, які коструктивно з'єднані між собою та обертаються навколо ниткоподібного катода, можуть рухатися вздовж катода. Надання додаткових напрямків та прямолінійного руху прикатодному електроду і аноду вздовж ниткоподібного нерухомого катода вказує на наявність критерію новизна. Пристрій для електронно-променевого полірування виробів є промислово використовуваним, оскільки він може бути використаний для технологічних процесів полірування, термообробки, зміцнення та інших електронно-променевих процесів обробки виробів оптичної промисловості, мікроелектроніки, інтегральної оптики. Джерела інформації: 1. Заявка СССР № 4941429/21/046728/ от 04.06.91 Канашевич Г.В., Котельников Д.И., Веретельник Т.И., положительное решение от 16 июня 1992 г., МКИ5 Н 01 J37/30, С 03 В29/00 2. Пат. 109084 України, МПК С23С 14/30, H01J 37/30. Пристрій для електронно-променевого полірування виробів/ Канашевич Г.В., Голуб М.В., Мацепа С.М., Дмитренко ПП. , Шматков В.Ю.; Заявл. 18.02.2016, Опубл. 10.08.2016. Бюл. № 5. - 3 с. 55 ФОРМУЛА КОРИСНОЇ МОДЕЛІ 60 Пристрій для електронно-променевого полірування виробів, який містить блок завантаження виробів, ниткоподібний катод електронно-променевої гармати, який залишається нерухомим, прикатодний електрод і анод, які конструктивно з'єднані між собою і обертаються навколо 1 UA 117366 U ниткоподібного катода, який відрізняється тим, що прикатодному електроду і аноду, які конструктивно з'єднані між собою та обертаються навколо ниткоподібного катода, надаються додаткові напрямки та прямолінійний рух вздовж нерухомого катода. 2 UA 117366 U Комп’ютерна верстка Г. Паяльніков Міністерство економічного розвитку і торгівлі України, вул. М. Грушевського, 12/2, м. Київ, 01008, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601 3