Пристрій для виводу пучка заряжених часток із вакуума в газове середовище

|< УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫВОДА ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ИЗ ВАКУУМА В ГАЗОВУЮ СРЕДУ, содержащее вакуумные камеры, разделенные диафрагмами с отверстиями для прохождения пучка III I I I II III Ц І І І І І І І І І І І Ч І Ц ' Я И І І І Ц Щ И III! ill и соединенные с автономными системами откачки, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения системы откачки, диафрагмы установлены наклонно к оптической оси и каждые две смежные из них расположены по разные стороны от перпендикуляров, проведенных из точек их пересечения к оптической оси, площади проекций каждого отверстия в диафрагмах на плоскость, перпендикулярную оптической оси, равна площади сечения пучка в этой плоскости, причем каждая вакуумная камера двумя боковыми стенками отделена от соседних камер. 2, Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что в диафраг—. мах между точками их пересечения и отверстиями установлены изогнутые сопла с центральным отверстием для соединения смежных камер. НІНІ 11'II •ЙЕММ "етяиа 1 106926 Настоящее изобретение относится качки (на чертеже не показаны), к оборудованию для электронно-лучеДиафрагмы 5,6,7 и 8 установлены вой обработки. наклонно к оптической оси 12 и каждые две смежные из них 5 и 6,6 и 7,7 Известно устройство для вывода и 8 расположены по разные стороны пучка" заряженных частиц из вакуума от перпендикуляров, проведенных из в газовую среду, содержащее вакуумточек ІЗ, 14 : 15 их пересечения к опі ную камеры с системой откачки и соптической оси 12. Площади проекций ло для подачи сверхзвуковой газовой каждого отверстия 9,10 и 11 в диструи, установленное на выходном афрагмах 5,6,7 и 8 на плоскость, торце вакуумной камеры [j ], 10 періте ндк^улярно оптической оси 12, Недостатком устройства является равна площади сечения пучка в этой невысокая надежность его работы. плоскости. Каждая вакуумная камера Наиболее близким к изобретению 1,2,3 и 4 двумя боковыми стенками по технической сущности и достигаег 16 и 17,17 и 18,18 и 19,19 и 16 отмому эффекту является устройство для 15 делена от соседних камер (фиг. 1 и 2 ) . вывода пучка заряженных частиц из і вакуума в газовую среду, содержащее В диафрагмах 5,6,7 и 8 и 6 между вакуумные камеры, разделенные диафточками 13,14 и 15 и проходными отрагмами с отверстиями для прохожде-7 верстиями 9,10 и J1 могут быть устания пучка и соединенные с автономны- 20 новлены изогнутые сопла 20 с центми системами откачки £2j. ральными отверстиями 21, соединяющиНедостатком устройства является ми смежные камеры (фиг. 3 ) . сложность системы откачки. Устройство работает следующим обПоставленная цель достигается бларазом. годаря тому, что в устройстве для 25 Включают электроннолучевую пушку вывода пучка заряженных частиц из и для проведения технологического вакуума в газовую среду, содержащем процесса электроннолучевой обработки вакуумные камеры, разделенные диафна воздухе или в среде защитного гарагмами и отверстиями для прохожза пучок выводят из вакуумной камедения пучка и соединенные с автономры в газовую среду. В результате того ными системами откачки, диафрагмы того, что диафрагмы 5,6,7 и 8 устаустановлены наклонно к оптической новлены наклонно к оптической оси 12 оси и каждые две смежные из них и каждые две смежные из них 5 и 6,6 расположены по разные стороны от пери 7,7 и 8 расположены по разные пендикуляров, проведенных из точек 35 стороны от перпендикуляров, провеих пересечения к оптической оси, денных из точек 13,14 и 15, струи площадь проекций каждого отверстия газа, вытекающие через проходные в диафрагмах на плоскость, перпенотверстия 9,10 и II в ниже лежащих дикулярно оптической оси, равна диафрагмах 5,6 и 7, не попадают в площади селения пучка в этой плос40 отверстия 9,10 и П выше расположенкости, причем каждая вакуумная ных диафрагм 6,7 и 8. При этом искамера двумя боковыми стенками отдеключается возможность течения газа лена от соседних камер. вдоль оптической оси. Установлено, В дифрагмах между точками их печто оптимальным углом между диафрагресечения и отверстиями могут быть 45 мами и перпендикулярами, проведенустановлены изогнутые сопла с центными из точек 13,14 и 15 к оптичесральным отверстием для соединения кой оси 12, является угол, равный смежных камер. не менее 20°. При такой конструкции Сущность изобретения поясняется устройства вакуумные камеры 1,2,3 и чертежам, где на фиг. 1 изображена 50 4 располагают ся симметрично относисхема устройства; на фит. 2 - разрез тельно оптической оси, что облегпо А-А фиг. 1; на фиг. 3 - вариант чает подключение камер к вакуумным устройства с соплами. системам, т.е. упрощает систему откачки. Этому способствует также и Устройство содержит вакуумные то, что при подключении сопел возникамеры 1,2,3 и 4, разделенные диаф- 55 кают дополнительные потоки газа, рагмами 5,6,7 и 8 с отверстиями 9,10 взаимодействующие с основными и еще и 11 для прохождения пучка и соедибольше отклоняющие их от отверстий ненные с автономными системами от З ]069261 4 6,7 и 8 выше расположенных диафрагм Устройство по сравнению с б а з о в сторону откачных патрубков 22,23, вым объектом, являющимся прототипом, 24 и 25. позволяет упростить систему откачки. 12 Фиг.1 1069261 Фиг 2 t 1069261 Редактор А. Дашкова Составитель Е. Мельников Техред Т.Дубинчак Корректоре. Черни Заказ 4594/ДСП Тираж 760 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская н а б , , д . 4/5 Филиал ГОШ "Патент", г , Ужгород, ул. Проектная, 4