Патенти з міткою «арсеніді»
Спосіб виготовлення контактів з бар’єром шотткі на арсеніді галію
Номер патенту: 95094
Опубліковано: 10.12.2014
Автори: Дмитрієв Вадим Сергійович, Дмитрієва Любов Борисівна
МПК: H01L 29/47
Мітки: шотткі, бар'єром, галію, виготовлення, арсеніді, контактів, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення контакту з бар'єром Шотткі на арсеніді галію GaAs, що включає отримання методом вакуумного випаровування випрямляючих контактів з Ag до епітаксійного n-GaAs з високолегованою підкладкою, який відрізняється тим, що пластину GaAs заздалегідь послідовно знежирюють в суміші толуолу і метилового спирту (1:2), хімічно полірують в суміші 3H2SO4-1H2O2-1H2O, витримують у винній кислоті продовж 15-25 хв., промивають в етиловому...