Патенти з міткою «автоелектронними»
Спосіб експонування топографічних зображень із використанням рядів матриць із автоелектронними випромінювачами різних розмірів
Номер патенту: 24157
Опубліковано: 25.06.2007
Автори: Когут Ігор Тимофійович, Голота Віктор Іванович
МПК: H05K 3/00
Мітки: випромінювачами, рядів, спосіб, різних, розмірів, використанням, матриць, зображень, топографічних, експонування, автоелектронними
Формула / Реферат:
1. Спосіб експонування топографічних зображень із використанням рядів матриць із автоелектронними випромінювачами різних розмірів, що включає рухому напівпровідникову пластину, покриту фоторезистом, яка експонується керованим електронним випромінюванням матриці випромінювачів, який відрізняється тим, що використовують ряди матриць випромінювачів різних розмірів.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що в рядах матриць...