Патенти з міткою «безвакуумним»

Номер патенту: 114980

Опубліковано: 27.03.2017

Автори: Д'яченко Олексій Вікторович, Опанасюк Анатолій Сергійович, Курбатов Денис Ігорович

МПК: B05B 5/00

Мітки: плівок, пристрій, методом, автоматизований, твердих, напівпровідників, безвакуумним, розчинів, нанесення

Формула / Реферат:

Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідників та їх твердих розчинів безвакуумним методом, що містить камеру розпилювання, систему нагріву підкладки та систему розпилення з форсункою, який відрізняється тим, що камера розпилювання виконана герметичною і до неї приєднані газовий балон, блок керування та датчик газу з клапаном, що встановлений у вентиляційний отвір, а всередині металевої камери встановлена система нагріву...