Д’яченко Олексій Вікторович
Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідників та їх твердих розчинів безвакуумним методом
Номер патенту: 114980
Опубліковано: 27.03.2017
Автори: Д'яченко Олексій Вікторович, Опанасюк Анатолій Сергійович, Курбатов Денис Ігорович
МПК: B05B 5/00
Мітки: напівпровідників, плівок, автоматизований, безвакуумним, нанесення, твердих, пристрій, методом, розчинів
Формула / Реферат:
Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідників та їх твердих розчинів безвакуумним методом, що містить камеру розпилювання, систему нагріву підкладки та систему розпилення з форсункою, який відрізняється тим, що камера розпилювання виконана герметичною і до неї приєднані газовий балон, блок керування та датчик газу з клапаном, що встановлений у вентиляційний отвір, а всередині металевої камери встановлена система нагріву...
Спосіб отримання шарів mgo методом спрей-піролізу
Номер патенту: 113142
Опубліковано: 10.01.2017
Автори: Курбатов Денис Ігорович, Д'яченко Олексій Вікторович, Опанасюк Анатолій Сергійович
МПК: B05D 5/12
Мітки: спосіб, отримання, шарів, спрей-піролізу, методом
Формула / Реферат:
Спосіб отримання шарів MgO методом спрей-піролізу, який включає виготовлення розчину прекурсору, розпилення його на поверхні нагрітої підкладки, піроліз розчину з утворенням покриття з оксиду металу на підкладці, який відрізняється тим, що як прекурсор використовують водний розчин хлориду магнію (MgCl2·4H2O), а розпилення відбувається імпульсно в герметизованій металевій камері з надлишковим тиском інертного газу.