Патенти з міткою «епітаксійної»

Спосіб отримання епітаксійної структури сонячного елемента

Завантаження...

Номер патенту: 73341

Опубліковано: 25.09.2012

Автори: Новіков Євген Іванович, Ларкін Сергій Юрійович, Круковський Семен Іванович, Круковський Ростислав Семенович

МПК: H01L 31/052, C23C 16/22, H01L 31/18 ...

Мітки: елемента, отримання, спосіб, сонячного, епітаксійної, структури

Формула / Реферат:

Спосіб отримання епітаксійної структури сонячного елемента на основі GalnP/GaAs з двома р-n переходами із газової фази, яка містить, як елементи третьої і п'ятої груп, триметилгалій (TMGa), триметилалюміній (ТМА1), арсин (АН3) та фосфін (РН3), а як донорні та акцепторні домішки - силан (SiH4) та діетилцинк (DEZn), який відрізняється тим, що формування твердого розчину pAlxGa1-xAs, легованого цинком із наростаючою шириною забороненої зони до...