Патенти з міткою «графоепітаксії»

Номер патенту: 38629

Опубліковано: 12.01.2009

Автори: Журба Олександр Михайлович, Яковенко Сергій Миколайович, Шутов Станіслав Вікторович

МПК: C30B 19/00, H01L 21/02

Мітки: графоепітаксії, фазі, галію, спосіб, арсеніду, рідкої

Формула / Реферат:

Спосіб графоепітаксії арсеніду галію із рідкої фази, що включає формування орієнтуючого мікрорельєфу на робочій поверхні аморфної підкладки, приведення її в контакт з попередньо насиченим розчином-розплавом, розміщеним в зазорі між аморфною підкладкою, розташованою робочою поверхнею униз, та обмежувальною пластиною, вирощування графоепітаксійної плівки напівпровідника шляхом пересичування розчину-розплаву за рахунок його примусового...