Яковенко Сергій Миколайович
Спосіб графоепітаксії арсеніду галію із рідкої фази
Номер патенту: 38629
Опубліковано: 12.01.2009
Автори: Шутов Станіслав Вікторович, Яковенко Сергій Миколайович, Журба Олександр Михайлович
МПК: C30B 19/00, H01L 21/02
Мітки: арсеніду, графоепітаксії, галію, фазі, спосіб, рідкої
Формула / Реферат:
Спосіб графоепітаксії арсеніду галію із рідкої фази, що включає формування орієнтуючого мікрорельєфу на робочій поверхні аморфної підкладки, приведення її в контакт з попередньо насиченим розчином-розплавом, розміщеним в зазорі між аморфною підкладкою, розташованою робочою поверхнею униз, та обмежувальною пластиною, вирощування графоепітаксійної плівки напівпровідника шляхом пересичування розчину-розплаву за рахунок його примусового...