Патенти з міткою «hfb2-hfo2»

Номер патенту: 77012

Опубліковано: 25.01.2013

Автори: Бажин Анатолій Іванович, Петухов Вадим Вікторович, Ступак Володимир Аврамович, Агулов Олександр Вадимович, Гончаров Олександр Андрійович

МПК: C23C 16/00

Мітки: спосіб, отримання, hfb2-hfo2, термостабільної, багатошарової, плівки

Формула / Реферат:

Спосіб отримання термостабільної багатошарової плівки HfB2-HfO2 методом ВЧ-магнетронного розпилення з наступним її відпалом при температурах до 1000 °C, який відрізняється тим, що отримання багатошарової термостабільної плівки HfO2-HfB2 здійснюють в діапазоні температур 600…1000 °C в умовах атмосфери печі.