Петухов Вадим Вікторович
Спосіб отримання термостабільної багатошарової плівки hfb2-hfo2
Номер патенту: 77012
Опубліковано: 25.01.2013
Автори: Агулов Олександр Вадимович, Бажин Анатолій Іванович, Гончаров Олександр Андрійович, Ступак Володимир Аврамович, Петухов Вадим Вікторович
МПК: C23C 16/00
Мітки: отримання, hfb2-hfo2, термостабільної, багатошарової, плівки, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб отримання термостабільної багатошарової плівки HfB2-HfO2 методом ВЧ-магнетронного розпилення з наступним її відпалом при температурах до 1000 °C, який відрізняється тим, що отримання багатошарової термостабільної плівки HfO2-HfB2 здійснюють в діапазоні температур 600…1000 °C в умовах атмосфери печі.
Багатошарова плівка vb2-vn
Номер патенту: 12385
Опубліковано: 15.02.2006
Автори: Ступак Володимир Абрамович, Петухов Вадим Вікторович, Гончаров Олександр Андрійович, Ігнатенко Петро Іванович
МПК: C23C 16/00
Мітки: багатошарова, vb2-vn, плівка
Формула / Реферат:
Багатошарова плівка VB2–VN, що складається зі зносостійких шарів, яка відрізняється тим, що один із шарів покриття - нижній (борид ванадію) має модуль пружності 190-230 ГПа, верхній шар - нітрид ванадію, має твердість 30-33 ГПа, та виготовляються на одній одиниці устаткування в одному вакуумно-технологічному циклі.