Патенти з міткою «inas1-хsbх»
Cпociб otpиmaння mikpokpиctaлib tbepдoгo poзчину inas1-хsbх
Номер патенту: 48820
Опубліковано: 12.04.2010
Автори: Большакова Інеса Антонівна, Макідо Олена Юріївна, Кость Ярослав Ярославович, Шуригін Федір Михайлович
МПК: C30B 25/00
Мітки: otpиmaння, cпociб, tbepдoгo, mikpokpиctaлib, poзчину, inas1-хsbх
Формула / Реферат:
Спосіб отримання мікрокристалів твердого розчину InAs1-xSbx, згідно з яким вакуумують об'єм камери осадження, в якій розташовують підкладку, джерела індію, арсену, стибію, транспортний газ, та нагрівають, який відрізняється тим, що як транспортний газ використовують хлористий водень, а як камеру осадження використовують запаяну кварцову ампулу, в яку завантажують підкладку, з попередньо нанесеними на неї смужками золота товщиною...