Бєгун Євгенія Валеріївна

Номер патенту: 31100

Опубліковано: 25.03.2008

Автори: Манойлов Едуард Геннадійович, Болгов Сергій Семенович, Бєгун Євгенія Валеріївна, Каганович Елла Борисівна, Малютенко Володимир Костянтинович

МПК: H01L 31/14

Мітки: зображень, інфрачервоних, динамічних, формування, двовимірних, пристрій

Формула / Реферат:

1. Пристрій для формування динамічних двовимірних інфрачервоних зображень, що містить проектор оптичного випромінювання і перетворюючий екран, виконаний у вигляді пластини з напівпровідникового матеріалу, ширина забороненої зони якого менша за енергію кванта оптичного випромінювання, розташований на оптичній осі проектора оптичного випромінювання, пристрій для підтримання робочої температури перетворюючого екрана, який відрізняється тим, що...

Номер патенту: 30404

Опубліковано: 25.02.2008

Автори: Каганович Елла Борисівна, Свєчніков Сергій Васильович, Манойлов Едуард Геннадійович, Болгов Сергій Семенович, Бєгун Євгенія Валеріївна

МПК: H01L 21/02

Мітки: монокристалічного, поверхні, спосіб, германію, пасивації

Формула / Реферат:

Спосіб пасивації поверхні монокристалічного германію, що включає вилучення природного оксиду германію з його поверхні та формування пасивуючого шару, який відрізняється тим, що наносять пасивуючий шар у вигляді легованої золотом плівки оксиду германію, що містить напівпровідникові наночастинки германію товщиною 50-500 нм методом імпульсного лазерного осадження із зворотного потоку частинок ерозійного факела шляхом розташування Ge підкладки в...

Номер патенту: 25457

Опубліковано: 10.08.2007

Автори: Малютенко Володимир Костянтинович, Чирчик Сергій Васильович, Манойлов Едуард Геннадійович, Кізяк Ірина Миронівна, Коганович Елла Борисівна, Бєгун Євгенія Валеріївна

МПК: H01L 21/02

Мітки: поверхні, кремнію, пасивації, спосіб, монокристалічного

Формула / Реферат:

Спосіб пасивації поверхні монокристалічного кремнію, що включає вилучення природного оксиду кремнію з його поверхні, нанесення оксидної плівки та активацію межі її розподілу з кремнієм, який відрізняється тим, що природний оксид кремнію видаляють травленням поверхні кремнію в 25-50 % HF розчині протягом 3-10 хвилин при кімнатній температурі, нанесення оксидної плівки та активацію межі її розподілу з кремнієм проводять одностадійно...

Номер патенту: 19622

Опубліковано: 15.12.2006

Автори: Свєчніков Сергій Васильович, Каганович Елла Борисівна, Бєгун Євгенія Валеріївна, Манойлов Едуард Геннадійович

МПК: H01L 21/203, H01L 21/268

Мітки: фотолюмінесцентної, квантовими, точками, германієвими, одержання, плівки, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб одержання фотолюмінесцентної плівки з германієвими квантовими точками імпульсним лазерним осадженням зворотного потоку частинок ерозійного факела на підкладку, що розташована в площині мішені, який відрізняється тим, що використовують мішень з германію, що містить 1-2 % по площині поверхні алюмінію, підкладку встановлюють на відстані 2-15 мм від осі ерозійного факела в вакуумній камері з тиском аргону 13-100 Па та діють...

Номер патенту: 19621

Опубліковано: 15.12.2006

Автори: Манойлов Едуард Геннадійович, Бєгун Євгенія Валеріївна, Свєчніков Сергій Васильович, Каганович Елла Борисівна

МПК: H01L 21/203, H01L 21/268

Мітки: фотолюмінесцентної, квантовими, одержання, точками, плівки, кремнієвими, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб одержання фотолюмінесцентної плівки з кремнієвими квантовими точками, що включає формування Аl2О3 плівки з Si нанокристалами імпульсним лазерним осадженням з прямого потоку частинок ерозійного факела при дії променем IAГ:Nd3+ лазера на мішень, що містить Si, та активацію фотолюмінесценції, який відрізняється тим, що формування Аl2О3 плівки з Si нанокристалами та активацію фотолюмінесценції проводять одностадійно осадженням на кремнієву...

Номер патенту: 18609

Опубліковано: 15.11.2006

Автори: Манойлов Едуард Геннадійович, Свєчніков Сергій Васильович, Каганович Елла Борисівна, Бєгун Євгенія Валеріївна

МПК: H01L 21/203, H01L 21/268

Мітки: квантовими, фотолюмінісцентної, спосіб, одержання, плівки, точками, германієвими

Формула / Реферат:

Спосіб одержання фотолюмінісцентної плівки з германієвими квантовими точками, що включає формування GeO2 плівки з германієвими нанокристалами імпульсним лазерним осадженням зі зворотного потоку частинок ерозійного факела на підкладку, що розташована в площині мішені, який відрізняється тим, що підкладку встановлюють на відстані в 2-15 мм від осі ерозійного факела та діють променем IAГ:Nd3+ лазера з довжиною хвилі 1,06 мкм, густиною енергії...