Патенти з міткою «кристалоструктури»
Спосіб визначення шорсткості поверхні і глибини порушень кристалоструктури механічно оброблених пластин кремнію
Номер патенту: 92239
Опубліковано: 11.10.2010
Автори: Єременко Вадим Олексійович, Примаченко Іван Андрійович, Лисоченко Сергій Васильович, Жарких Юрій Серафимович, Карплюк Олександр Іванович, Третяк Олег Васильович
МПК: G01B 11/30
Мітки: оброблених, пластин, порушень, кремнію, глибини, спосіб, шорсткості, поверхні, кристалоструктури, визначення, механічної
Формула / Реферат:
Спосіб визначення шорсткості поверхні і глибини порушень кристалоструктури механічно оброблених пластин кремнію, що включає опромінення зразка світлом і реєстрацію характеристик відбитої зразком частини опромінення, який відрізняється тим, що опромінення здійснюють в області прозорості кремнію інфрачервоним світлом з довжиною хвиль 1,3-27 мкм, а шорсткість поверхні і глибину порушень кристалоструктури визначають за величиною довгохвильової...