Єременко Вадим Олексійович
Спосіб визначення шорсткості поверхні і глибини порушень кристалоструктури механічно оброблених пластин кремнію
Номер патенту: 92239
Опубліковано: 11.10.2010
Автори: Лисоченко Сергій Васильович, Жарких Юрій Серафимович, Карплюк Олександр Іванович, Третяк Олег Васильович, Примаченко Іван Андрійович, Єременко Вадим Олексійович
МПК: G01B 11/30
Мітки: оброблених, поверхні, механічної, глибини, порушень, визначення, кремнію, спосіб, пластин, кристалоструктури, шорсткості
Формула / Реферат:
Спосіб визначення шорсткості поверхні і глибини порушень кристалоструктури механічно оброблених пластин кремнію, що включає опромінення зразка світлом і реєстрацію характеристик відбитої зразком частини опромінення, який відрізняється тим, що опромінення здійснюють в області прозорості кремнію інфрачервоним світлом з довжиною хвиль 1,3-27 мкм, а шорсткість поверхні і глибину порушень кристалоструктури визначають за величиною довгохвильової...
Спосіб визначення товщини приповерхневого мікродефектного шару на пластинах кремнію
Номер патенту: 48502
Опубліковано: 25.03.2010
Автори: Жарких Юрій Серафимович, Лисоченко Сергій Васильович, Карплюк Олександр Іванович, Примаченко Іван Андрійович, Третяк Олег Васильович, Єременко Вадим Олексійович
МПК: G01B 11/30
Мітки: пластинах, спосіб, кремнію, товщини, визначення, шару, мікродефектного, приповерхневого
Формула / Реферат:
Спосіб визначення товщини приповерхневого мікродефектного шару на пластинах кремнію, що включає опромінення зразка світлом і реєстрацію характеристик відбитої зразком частини опромінення, який відрізняється тим, що опромінення проводять в області прозорості кремнію інфрачервоним світлом з довжиною хвиль 1,3-27 мкм, а товщину приповерхневого мікродефектного шару на пластинах кремнію визначають за величиною довгохвильової межі густини шумів...