Примаченко Іван Андрійович
Спосіб визначення рекомбінаційних параметрів в технологічних пластинах кремнію
Номер патенту: 53343
Опубліковано: 11.10.2010
Автори: Смолич Олександр Сергійович, Примаченко Іван Андрійович, Лисоченко Сергій Васильович, Чирчик Сергій Васильович
МПК: G01N 27/00
Мітки: рекомбінаційних, спосіб, пластинах, параметрів, кремнію, визначення, технологічних
Формула / Реферат:
Спосіб визначення рекомбінаційних параметрів в технологічних пластинах кремнію, що включає імпульсне освітлення поверхні напівпровідника світлом з довжиною хвилі, меншою краю власного поглинання напівпровідника, постійне опромінення напівпровідника надвисокочастотною електромагнітною хвилею, вимірювання концентрації нерівноважних носіїв заряду від часу за величиною потужності, відбитої або яка пройшла через зразок електромагнітної хвилі, і...
Спосіб визначення шорсткості поверхні і глибини порушень кристалоструктури механічно оброблених пластин кремнію
Номер патенту: 92239
Опубліковано: 11.10.2010
Автори: Жарких Юрій Серафимович, Єременко Вадим Олексійович, Примаченко Іван Андрійович, Третяк Олег Васильович, Карплюк Олександр Іванович, Лисоченко Сергій Васильович
МПК: G01B 11/30
Мітки: оброблених, шорсткості, кремнію, поверхні, визначення, глибини, кристалоструктури, спосіб, порушень, пластин, механічної
Формула / Реферат:
Спосіб визначення шорсткості поверхні і глибини порушень кристалоструктури механічно оброблених пластин кремнію, що включає опромінення зразка світлом і реєстрацію характеристик відбитої зразком частини опромінення, який відрізняється тим, що опромінення здійснюють в області прозорості кремнію інфрачервоним світлом з довжиною хвиль 1,3-27 мкм, а шорсткість поверхні і глибину порушень кристалоструктури визначають за величиною довгохвильової...
Спосіб визначення товщини приповерхневого мікродефектного шару на пластинах кремнію
Номер патенту: 48502
Опубліковано: 25.03.2010
Автори: Лисоченко Сергій Васильович, Жарких Юрій Серафимович, Єременко Вадим Олексійович, Третяк Олег Васильович, Карплюк Олександр Іванович, Примаченко Іван Андрійович
МПК: G01B 11/30
Мітки: спосіб, пластинах, шару, визначення, приповерхневого, мікродефектного, кремнію, товщини
Формула / Реферат:
Спосіб визначення товщини приповерхневого мікродефектного шару на пластинах кремнію, що включає опромінення зразка світлом і реєстрацію характеристик відбитої зразком частини опромінення, який відрізняється тим, що опромінення проводять в області прозорості кремнію інфрачервоним світлом з довжиною хвиль 1,3-27 мкм, а товщину приповерхневого мікродефектного шару на пластинах кремнію визначають за величиною довгохвильової межі густини шумів...