Патенти з міткою «металнапівпровідник»

Номер патенту: 28793

Опубліковано: 16.10.2000

Автори: Горбенко Віталій Іванович, Горбань Олександр Миколайович, Швець Юлій Олександрович

МПК: H01L 21/223

Мітки: електричного, отримання, металнапівпровідник, спосіб, фосфіду, типу, контакту, індію

Формула / Реферат:

Спосіб отримання електричного контакту типу "метал-напівпровідник" до фосфіду індію, що включає його ва­куумування та нагрівання до температури дисоціації, який відрізняється тим, що нагрівання проводять в умовах низького вакууму в середовищі, яке вміщує атомарний водень з концентрацією від 1·1018 до 1·1021 атомів/м3.