Швець Юлій Олександрович
Спосіб отримання електричного контакту типу “метал-напівпровідник” до фосфіду індію
Номер патенту: 28793
Опубліковано: 15.08.2001
Автори: Горбенко Віталій Іванович, Горбань Олександр Миколайович, Швець Юлій Олександрович
МПК: H01L 21/223
Мітки: метал-напівпровідник, фосфіду, електричного, типу, отримання, індію, контакту, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб отримання електричного контакту типу "метал-напівпровідник" до фосфіду індію, що включає його вакуумування та нагрівання до температури дисоціації, який відрізняється тим, що нагрівання проводять в умовах низького вакууму в середовищі, яке вміщує атомарний водень з концентрацією від 1·1018 до 1·1021 атомів/м3.
Спосіб отримання електричного контакту типу “металнапівпровідник” до фосфіду індію
Номер патенту: 28793
Опубліковано: 16.10.2000
Автори: Горбенко Віталій Іванович, Горбань Олександр Миколайович, Швець Юлій Олександрович
МПК: H01L 21/223
Мітки: фосфіду, металнапівпровідник, типу, спосіб, контакту, отримання, індію, електричного
Формула / Реферат:
Спосіб отримання електричного контакту типу "метал-напівпровідник" до фосфіду індію, що включає його вакуумування та нагрівання до температури дисоціації, який відрізняється тим, що нагрівання проводять в умовах низького вакууму в середовищі, яке вміщує атомарний водень з концентрацією від 1·1018 до 1·1021 атомів/м3.