Патенти з міткою «меза-діодів»

Номер патенту: 93186

Опубліковано: 25.01.2011

Автори: Шутов Станіслав Вікторович, Фролов Костянтин Олександрович, Фролов Олександр Олександрович

МПК: H01L 21/04, H01L 21/31, H01L 21/316 ...

Мітки: виготовлення, меза-діодів, кремнієвих, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення кремнієвих меза-діодів в епітаксійному шарі першого типу провідності, нанесеного на високолеговану підкладку того ж типу провідності, який включає нанесення на епітаксійний шар нітриду кремнію, першу фотолітографію по нітриду кремнію, формування меза-структури, термічне окислювання, селективне видалення нітриду кремнію над меза-структурами, формування р-n переходу за допомогою дифузії домішки другого типу провідності та...