Патенти з міткою «нанотекстури»

Спосіб одержання поверхневої функціональної нанотекстури

Завантаження...

Номер патенту: 66137

Опубліковано: 26.12.2011

Автори: Ховерко Юрій Миколайович, Єрохов Валерій Юрійович, Нічкало Степан Ігорович, Дружинін Анатолій Олександрович, Островський Ігор Петрович

МПК: H01L 31/05

Мітки: поверхневої, одержання, нанотекстури, спосіб, функціонально

Формула / Реферат:

Спосіб одержання поверхневої функціональної нанотекстури, при якому пластину кремнію горизонтально поміщають у розчин ізотропного кислотного травника при кімнатній температурі, після промивки створену поверхневу текстуру заповнюють пористим органічним кремнієм, яку піддають ультразвуковій обробці, який відрізняється тим, що додатково на поверхневу текстуру газотранспортною реакцією наносять кремнієві ниткоподібні нанокристали.

Спосіб одержання поверхневої функціональної нанотекстури

Завантаження...

Номер патенту: 92962

Опубліковано: 27.12.2010

Автори: Дружинін Анатолій Олександрович, Єрохов Валерій Юрійович

МПК: H01L 31/05

Мітки: нанотекстури, одержання, поверхневої, спосіб, функціонально

Формула / Реферат:

Спосіб одержання поверхневої функціональної нанотекстури, який полягає в тому, що пластину кремнію горизонтально поміщають у розчин ізотропного кислотного травника при кімнатній температурі, після промивки створену поверхневу текстуру заповнюють пористим органічним кремнієм, який відрізняється тим, що додатково поверхневу текстуру із пористим органічним кремнієм піддають ультразвуковій обробці.