Нічкало Степан Ігорович
Спосіб одержання поверхневої функціональної нанотекстури
Номер патенту: 66137
Опубліковано: 26.12.2011
Автори: Нічкало Степан Ігорович, Островський Ігор Петрович, Дружинін Анатолій Олександрович, Ховерко Юрій Миколайович, Єрохов Валерій Юрійович
МПК: H01L 31/05
Мітки: спосіб, поверхневої, одержання, функціонально, нанотекстури
Формула / Реферат:
Спосіб одержання поверхневої функціональної нанотекстури, при якому пластину кремнію горизонтально поміщають у розчин ізотропного кислотного травника при кімнатній температурі, після промивки створену поверхневу текстуру заповнюють пористим органічним кремнієм, яку піддають ультразвуковій обробці, який відрізняється тим, що додатково на поверхневу текстуру газотранспортною реакцією наносять кремнієві ниткоподібні нанокристали.
Спосіб одержання масивів нанокристалів кремнію
Номер патенту: 63926
Опубліковано: 25.10.2011
Автори: Островський Ігор Петрович, Дружинін Анатолій Олександрович, Ховерко Юрій Миколайович, Нічкало Степан Ігорович
МПК: H01L 21/00, C30B 29/00
Мітки: нанокристалів, одержання, спосіб, кремнію, масивів
Формула / Реферат:
Спосіб одержання масивів нанокристалів кремнію, який включає осадження на напівпровідникову кремнієву підкладку р-типу провідності шару плівки золота, вирощування за механізмом пара-рідина-кристал нанокристалів кремнію, який відрізняється тим, що перед вирощуванням нанокристалів кремнію додатково здійснюють термічний відпал напівпровідникової кремнієвої підкладки.