Патенти з міткою «напівпровіників»
Спосіб формування бар’єра шотткі до напівпровіників а в
Номер патенту: 4739
Опубліковано: 28.12.1994
Автори: Іванов Володимир Миколайович, Коваленко Леонід Євгенійович, Скакун Василь Захарович
МПК: H01L 29/00
Мітки: формування, спосіб, шотткі, напівпровіників, бар'єра
Формула / Реферат:
Способ формирования барьера Шоттки к полупроводникам AIIIBV, включающий нанесение на поверхность полупроводника путем магнетронного распыления пленки из соединений типа фаз внедрения: нитридов, боридов, карбидов или силицидов переходных металлов III-V групп при подаче на полупроводниковую подложку отрицательного смещения, отличающийся тем, что проводят магнетронное распыление фазы внедрения из мишени стехиометрического состава в инертной...