Патенти з міткою «п’єзорезистивний»

Номер патенту: 23103

Опубліковано: 30.06.1998

Автори: Панков Юрій Михайлович, Дружинін Анатолій Олександрович, Мар'ямова Інна Йосипівна

МПК: H01L 21/28, G01L 9/06

Мітки: п'єзорезистивний, датчик

Формула / Реферат:

П’єзорезистивнии датчик, який містить кремнієву підкладку з шаром діелектрика, здатним відбивати лазерне випромінювання, поверх якого розташовані рекристалізовані лазерним випромінюванням полікремнієві тензорезистори, покриті діелектричним капсулюючим шаром, здатним поглинати лазерне випромінювання, який відрізняється тим, що на капсулюючому шарі розміщений поглинаючий шар у вигляді паралельних смужок, довжина яких не менша довжини...