Панков Юрій Михайлович

Номер патенту: 43094

Опубліковано: 15.11.2001

Автори: Варшава Славомир Степанович, Дружинін Анатолій Олександрович, Панков Юрій Михайлович

МПК: G01B 7/16, G01B 7/00, G01B 5/30 ...

Мітки: тензодатчик, деформації, динамічної

Формула / Реферат:

Тензодатчик динамічної деформації, що містить чутливий елемент з ниткоподібного напівпровідникового монокристала з точковими контактами на кінцях монокристала і струмовиводами, а також із проміжним точковим контактом, який відрізняється тим, що як чутливий елемент використано напівпровідник кремній р - типу провідності, легований В та Аu, із питомим опором 0,02 Ом см, а проміжний точковий контакт встановлений зі зміщенням до одного з кінців...

Номер патенту: 23103

Опубліковано: 30.06.1998

Автори: Мар'ямова Інна Йосипівна, Дружинін Анатолій Олександрович, Панков Юрій Михайлович

МПК: H01L 21/28, G01L 9/06

Мітки: п'єзорезистивний, датчик

Формула / Реферат:

П’єзорезистивнии датчик, який містить кремнієву підкладку з шаром діелектрика, здатним відбивати лазерне випромінювання, поверх якого розташовані рекристалізовані лазерним випромінюванням полікремнієві тензорезистори, покриті діелектричним капсулюючим шаром, здатним поглинати лазерне випромінювання, який відрізняється тим, що на капсулюючому шарі розміщений поглинаючий шар у вигляді паралельних смужок, довжина яких не менша довжини...

Номер патенту: 3059

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Мар'ямова Інна Йосипівна, Панков Юрій Михайлович

МПК: G01L 9/04

Мітки: тензометричний, датчик, тиску

Формула / Реферат:

Тензометрический датчик давления, содержащий корпус, мембрану, связанную посредством штока с жесткозащемленной с двух концов балкой, на одной из сторон которой размещены центральные и периферийные тензорезисторы, соединенные в мостовую измерительную схему, при этом каждый периферийный и центральный тензорезисторы включены в смежные плечи мостовой схемы, отличающийся тем, что тензорезисторы, входящие в смежные плечи мостовой схемы, расположены...