Патенти з міткою «півпровідникові»

Лодочка для осадження діелектричних плівок на півпровідникові підкладки

Завантаження...

Номер патенту: 11377

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Гринюк Іван Дмитрович, Насипайко Олександр Васильович, Новосядлий Степан Петрович, Маскович Степан Михайлович

МПК: H01L 21/205

Мітки: плівок, лодочка, осадження, діелектричних, підкладки, півпровідникові

Формула / Реферат:

Лодочка для осаждения диэлектрических пленок на полупроводниковые подложки, содер­жащая платформу с пазами, установленную на ро­ликах, отличающаяся тем, что, с целью увели­чения срока службы лодочки и повышения качест­ва диэлектрических пленок, лодочка дополнитель­но снабжена боковой планкой с пазами, неподвижными и съемными экранами, предназна­ченными для установки в пазы платформы вместе с подложками и имеющими диаметр, не меньший диаметра...