Патенти з міткою «півпровідникові»
Лодочка для осадження діелектричних плівок на півпровідникові підкладки
Номер патенту: 11377
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Гринюк Іван Дмитрович, Насипайко Олександр Васильович, Новосядлий Степан Петрович, Маскович Степан Михайлович
МПК: H01L 21/205
Мітки: плівок, лодочка, осадження, діелектричних, підкладки, півпровідникові
Формула / Реферат:
Лодочка для осаждения диэлектрических пленок на полупроводниковые подложки, содержащая платформу с пазами, установленную на роликах, отличающаяся тем, что, с целью увеличения срока службы лодочки и повышения качества диэлектрических пленок, лодочка дополнительно снабжена боковой планкой с пазами, неподвижными и съемными экранами, предназначенными для установки в пазы платформы вместе с подложками и имеющими диаметр, не меньший диаметра...