Насипайко Олександр Васильович

Номер патенту: 18290

Опубліковано: 25.12.1997

Автори: Костенко Сергій Петрович, Августімов Віталій Леонідович, Насипайко Олександр Васильович, Остапчук Анатолій Іванович, Бідник Дмитро Ілліч

МПК: G01N 27/12

Мітки: вологості, датчика, чутливий, елемент

Формула / Реферат:

Чувствительный элемент датчика влажности, содержащий кремниевую пластину, на поверхность которой последовательно нанесены слои окисла и нитрида кремния, поверх последнего сформирован в виде прямоугольных полос слой поликристаллического кремния с двумя электродами, легированного ионами элементов III или V групп, с нанесенным материалом, сорбирующим влагу, отличающийся тем, что слой поликремния сформирован в виде двух ортогональных по осям...

Номер патенту: 12282

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Романський Ігор Олексійович, Насипайко Олександр Васильович, Когут Ігор Тимофійович, Савицька Наталія Григорівна

МПК: H03K 19/00

Мітки: інвертор

Формула / Реферат:

Формула изобретенияИнвертор, содержащий полупроводниковую подложку первого типа проводимости, первую и вторую полупроводниковые области второго типа проводимости, расположенные в приповерхностном слое полупроводниковой подложки, первый диэлектрический слой, paсположенный на поверхности полупроводниковой подложки между первой и второй полупроводниковыми областями, первую проводящую область, расположенную на первом диэлектрическом слое,...

Номер патенту: 11381

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Шпакович Роман Степанович, Маскович Степан Михайлович, Насипайко Олександр Васильович, Новосядлий Степан Петрович

МПК: C30B 35/00, C30B 25/02

Мітки: кварцеві, шару, нанесення, лодочи, спосіб, захисного

Формула / Реферат:

Способ нанесения защитного слоя на кварце­вые лодочки осаждением из газовой фазы, содер­жащей соединение кремния, отличающийся тем, что, с целью уменьшения дефектности структур, обрабатываемых в лодочках при формировании ди­электрических пленок, и повышения износостойкости лодочек, в качестве защитного слоя осаждают слой поликремния толщиной не менее 0,2 мкм из газовой смеси аргона с моносиланом или дихлорсиланом при 575-625°С и давлении...

Номер патенту: 11379

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Новосядлий Степан Петрович, Насипайко Олександр Васильович, Бірковий Юрій Леонідович, Когут Ігор Тимофійович

МПК: H01L 21/18

Мітки: спосіб, схем, великих, виготовлення, інтегральних

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления больших интеграль­ных схем, включающий формирование кремние­вой структуры с активными и пассивными элементами, формирование на ее нерабочей сторо­не соединительного слоя, монтаж полученной структуры с соединительным слоем в корпус или на ленточный носитель с помощью клея, формирова­ние контактов и герметизирующего слоя, отлича­ющийся тем, что, с целью повышения качества схем за счет снижения уровня механических...

Номер патенту: 11377

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Маскович Степан Михайлович, Новосядлий Степан Петрович, Гринюк Іван Дмитрович, Насипайко Олександр Васильович

МПК: H01L 21/205

Мітки: осадження, плівок, півпровідникові, діелектричних, підкладки, лодочка

Формула / Реферат:

Лодочка для осаждения диэлектрических пленок на полупроводниковые подложки, содер­жащая платформу с пазами, установленную на ро­ликах, отличающаяся тем, что, с целью увели­чения срока службы лодочки и повышения качест­ва диэлектрических пленок, лодочка дополнитель­но снабжена боковой планкой с пазами, неподвижными и съемными экранами, предназна­ченными для установки в пазы платформы вместе с подложками и имеющими диаметр, не меньший диаметра...