Патенти з міткою «пороговою»
Спосіб отримання n-moн-транзисторів з від`ємною пороговою напругою
Номер патенту: 27540
Опубліковано: 12.11.2007
Автори: Бережанський Володимир Михайлович, Новосядлий Степан Петрович
МПК: H01C 8/00
Мітки: напругою, від`ємною, спосіб, отримання, пороговою, n-moн-транзисторів
Формула / Реферат:
1. Спосіб отримання n-MOH-транзисторів з від'ємною пороговою напругою, що включає всі операції формування кремнієвих субмікронних структур, який відрізняється тим, що з метою забезпечення його температурної стабільності, а також недопущення значного росту радіаційних дефектів, проводиться багатозарядна імплантація кремнію іонами фтору F--.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що енергія і доза двозарядних іонів F-- складає...