Спосіб отримання n-moн-транзисторів з від`ємною пороговою напругою
Номер патенту: 27540
Опубліковано: 12.11.2007
Автори: Бережанський Володимир Михайлович, Новосядлий Степан Петрович
Формула / Реферат
1. Спосіб отримання n-MOH-транзисторів з від'ємною пороговою напругою, що включає всі операції формування кремнієвих субмікронних структур, який відрізняється тим, що з метою забезпечення його температурної стабільності, а також недопущення значного росту радіаційних дефектів, проводиться багатозарядна імплантація кремнію іонами фтору F--.
2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що енергія і доза двозарядних іонів F-- складає Е=25÷150 кеВ, D=0,1÷5 мккл/см2 і визначається товщиною підзатворного діелектрика, а активація введеної домішки забезпечується швидким фотонним відпалом при Т=650-800°С протягом 1-3 с.
Текст
РП аЎ± б > юя D F юяяя C T яяяяяяяяяяяяяяяяяяяяя яяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяя яяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяя яяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяя яяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяя яяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяяя яяяяяяямҐБ U@" ш ї ¶Z bjbj¬›¬› u ” ” Ё ° ўu яя ” X ” ” Ос ” Ос Бяя ” яя d € „ Ё Ё d ј Ё Ќ ” С `! ” Ќ Ч и `! Ќ \ Ќ `! ш ” $ й k L X „ Ё S „ * $ ї - " ` / - . ¬ „ „ N - M O H - " - . * * Ё ! " # - . ( 5 4 ) ! - ! 1 2 ( 2 1 ) 1 2 . 1 ' % & ! " $ > B @ 8 2 V 4 ' 2 : ; N : @ 5 2 : @ 5 < V 2 V 4 ? 3 A . u 2 0 0 7 1 . 2 0 0 7 , U A , ' , , < 0 = = O T N G 0 T 2 A = V T 2 8 E V 7 = O T B 7 ? 5 G 5 = V ; L = > A = > 3 > @ > 4 8 B L A = V N V > , O : 8 9 3 V O V 4 0 T = 7 = 0 G 0 T 5 : B @ 8 : H : 8 7 0 0 ; > V A L A = O B V > A O = 0 2 4 > 2 5 B L 0 , 1 5 @ 8 U A # A M O @ > > ? C 1 O 9 , B C 1 0 < 8 V 4 7 0 ч 1 A O 0 7 ? " ( H 3 5 0 3 @ 5 5 = ( 2 2 ) ! , ( 7 3 ) ! 5 6 ) - B @ 0 = > 2 > N @ 0 F V W V : @ > = 8 B 5 B 0 : > @ 0 4 V 0 0 B > 7 0 D B > @ C V 7 = O T 4 2 > 7 0 0 : 5 B > 2 I 8 0 : B 8 2 G C T B L 6 5 0 - 8 1 5 . 0 5 . 2 0 ! / ! " " ! " " ( 5 7 ) 1 . ! 7 8 A B > @ V 2 = 0 ? @ C 3 > N , D > @ 7 N ? C I F V 9 = 8 E 4 5 @ O 4 = 0 V < ? F - - . 2 . B L A O B 8 , D = 0 , 1 ч 5 = > N ? V 4 7 0 0 F V O 2 2 5 4 A O H 2 8 4 : 8 0 0 ° ! ? @ > B 0 7 ( 2 4 ) " , ! / ? > A V 1 7 I > = O B C @ , O : 8 9 > 5 D ; ! W = 5 0 ? I = V < B 2 5 = > 2 : > > D > O B V 2 , B 0 F V O A V 1 7 0 F - : ; / A 3 > W > B > = = 8 < B 5 ? > A B ? @ @ > 7 > 7 0 4 ; A B D V 2 V > : 2 B @ 5 A B ? @ A L ? C < 5 > 1 2 2 > : V V > V = > B 0 ; B 5 B 5 B 0 3 ] : > 2 V V > 8 7 > 7 0 O : : 4 0 7 0 @ 0 V > @ 8 A E = > @ > 3 : @ > ? > ; @ C : > F 5 7 4 V : @ 5 @ O 4 O 9 0 = C 7 8 : 4 > 3 > 1 ; V B > 4 6 V 3 0 B B 5 @ : > @ 4 7 0 @ C : 4 : ; 1 1 ) 7 4 V 5 @ = 5 4 5 A 8 4 D V 7 = V 2 H 8 E @ 8 < 5 = < ? 5 1 V @ 2 = V E > ? A 0 ; > @ 2 > A : 0 4 5 @ O 4 : A 4 ' T 3 C 2 ; L F A 8 4 = > 3 @ O 4 4 V 0 = = > = 0 ; > 3 B @ > 2 > 5 ; 5 > 3 V B C @ A V 2 ; C 3 > 7 8 = > , V , , ? 1 V = ; L = 4 = 8 4 = V : 0 F 8 7 S i 8 2 = B C @ 0 4 : T ; C , 5 = 0 = = O , O 8 G = D B 4 > 0 = = 5 4 @ 0 B @ 0 B 7 0 0 9 1 = > W W V 9 > H = L ; 5 = < 8 9 C E ; ; N T 8 E : 2 0 C . @ 0 B 8 4 0 = = V 9 V 2 > < C 2 F V 9 N V 0 V E H V @ 0 0 7 2 C > C C @ V 3 = 8 7 B & C : 3 O 4 V 5 = 4 5 ; W D > = 7 8 A = 0 ? B @ > = = 8 E ! O : V 0 ? V 2 @ 8 @ > ? > H 7 7 8 B ? V 2 ? > 7 0 ? ; 8 2 @ > 3 > F V 9 = A B L A B @ = V 9 W , O V = 8 i O 2 9 . > 3 > E , 2 E : @ 0 2 6 4 B 0 : 7 0 4 0 2 V 4 ' ; O T 7 0 4 @ C , V H > : 4 5 O 7 2 > ; @ = > W @ 0 E O 4 0 ; L H 4 5 > 7 0 ? ; 0 = C 7 C W @ 5 O 5 ; 2 0 6 : 2 8 7 8 > = = 8 @ 5 7 0 > A 8 B 4 ' T 4 C > : A 8 8 E 4 ? ; 0 = L @ B @ V @ 2 ? 4 C H 8 @ @ 0 2 V 5 C 4 : 7 V V > L C F > 8 ? @ C : 5 2 > O N C ; : 5 V 0 7 4 : A 4 8 @ 5 < 8 V G 0 T 0 G E ; , : > O T A 2 C @ 3 V 7 C = = 2 4 B ? 5 B = @ > A O V > = ? 2 , = 1 C > E 3 B E = V 3 1 ; 8 ; V @ O 4 B 0 F 2 5 : B 8 9 2 > B 8 2 E M 4 ; O 0 @ O A B 0 V N @ O 4 = 8 L 5 = 8 9 D > 4 V 5 D 5 B 0 F V 2 V > . 2 2 = > V 8 L = @ : C L 1 O ? > > . @ > > 4 0 M V 7 T C V ; 5 @ 3 : = B 4 1 4 C : D @ T : V 4 = > 0 = = 2 7 N V < V @ V 3 0 T B V : V 4 = 8 = 8 4 = 8 , O = 0 0 ? @ > F 5 B @ > @ [ , T 2 8 4 > 2 > 7 8 > , 4 V , 4 ; O ; 5 : 5 = > N > 7 8 B A 0 N A 2 C , G 0 2 V > A O 1 V ; B E D ; N T L : 8 A ? 2 W V 5 = 8 ; 5 : > = V 0 ; > A 8 4 8 9 E D D > @ T V ; L ; O 2 2 0 ; L 5 : B 7 0 @ 0 N B 8 : : = 5 > 4 V 7 2 : V 2 5 C 3 C A 8 , D V 7 1 ] . 2 V 7 = 0 > 3 > B 8 2 I > O : D > B @ 8 < C ? 5 7 0 @ : ; 0 5 4 5 E q [ 1 A V > : A > = V 9 A B @ > 2 . 3 5 = = V 9 7 A C E q u < C 2 2 ? = 8 B @ > 4 8 F V N 8 2 = O 4 0 = = 0 G = , I ( > L 0 4 A 5 ; 7 L = 2 V = 8 D ; , 8 4 G = 5 8 @ : = = 8 @ O 4 = ' 0 1 8 2 E = = 2 a 0 5 . 8 ; > [ O 8 > 2 A O 4 > 2 8 3 > B > 2 ; 5 ' T N B > A > 2 C T B L A = = O 5 < 5 = B V 2 C < V = = O D V 7 = 0 7 8 B 8 2 C ? @ 0 2 ; V = = = 8 7 0 @ O 4 > 2 5 3 0 B 8 2 = 8 9 . E ? @ 8 ; 0 4 V 2 > @ < C N B L A O 8 G 8 = C A B @ C 3 5 = 5 @ 0 F V 9 B 5 < ? 5 @ 0 B C @ G = 8 E ? 0 @ 0 , A C B = V 0 ; 8 A ? > A > 1 A B 0 = C 3 > = 0 D 5 : B 8 2 = 8 9 9 < C 2 0 = = O 0 2 0 : @ 5 < = V T 2 B 0 F V 9 ( 1 0 0 < , O : = 0 : A 8 4 V . " > 5 4 1 0 G 0 T 4 C 2 B 5 @ ; > = O 2 > : A 8 4 O : C , A C @ < 8 T 6 ; 8 2 V A = > 3 > 7 0 @ O 4 8 9 > 3 > B V , 1 > 2 6 5 a t i o n . 3 2 , ? @ > ? > = > 2 0 D > @ ? > 9 > 4 C [ 4 ] . 8 ; L = V A B N 9 = > W > 1 > ; > = @ V 3 > , 8 9 5 ; 5 < 5 = B ? ; V 2 F V . & 5 = 0 ? @ C 3 8 t i o n . 3 = = O 2 V 4 ' T < 2 = V 9 < V @ V @ V 4 C = = 8 < ! 0 + . ! 0 @ ; V 2 V 4 ' T 3 9 @ V A B 7 C 2 ; 5 = > 0 : 5 ) 7 > 4 = = O O 2 8 G = 8 E : , = > 3 > O = 8 3 > 7 2 = C 5 B @ V 2 = 0 8 G 8 0 7 = > W 7 0 @ O 4 8 ) 5 W O 3 > N > 3 > : 8 4 > 9 > 4 , T V , I > = > 3 > 2 : > = V T W A 2 2 ? @ 7 4 : 7 : 2 ? @ 4 7 > ? 0 2 < : B : ‘ ‘ = 0 > 5 > > 0 > > 0 A @ = V 5 : > 2 @ @ @ @ 0 V 5 ђ > A 4 > 1 @ 7 @ : < V ? F > O 2 C @ ? = ' > ; O > > : 0 5 B 4 > 2 5 ; 2 O B V 4 2 B ; V ? > V 8 4 8 D @ F 4 V A B B > B > @ C D 0 0 B = > ; A 8 C ; 0 < 5 5 B 8 4 C V 5 7 2 @ ’ ” V , > , B 0 0 = V 5 < ? 5 @ 0 B C < ( T ( 7 0 0 B @ 8 < 0 = 0 2 4 > A B 8 5 ; 5 : B @ 0 ? > @ > 3 > 2 W @ B > @ 0 E G 8 V ! 7 4 V 9 A = 5 = 6 5 = = O D > @ = 0 < V 6 D 0 0 = 0 ; V 7 C @ 2 > 4 8 2 V 4 = > A B V : > 7 4 V ; C . / 6 5 ? 5 @ 5 : 0 F V O E : E M B E D V B , E M B ; > 1 > ; V B , . " > < C 7 < 6 = 0 7 0 5 = L 7 W > . > O 8 ; 8 0 W O V L V 0 @ 5 2 V D A A 2 C 2 E M E q u E D O : V V = N 4 > 2 0 B 7 ? Д М O F V O < A B V 9 < 5 H 8 @ 7 8 G = = 0 ? @ @ 8 8 3 5 @ 0 2 8 : A ? 5 0 = = O 9 2 @ 0 B 0 ; V V 4 > < 0 B 8 B E D a t i o E q u a 8 7 0 > 7 8 B д м B A ; B V H 9 : 6 V > : 8 @ 8 2 6 V 2 , : A , 2 E q n . t i B L ? 0 3 > @ O 8 2 0 O 0 : > : V : 8 3 S 8 E 8 > N E = 0 = > > 3 > 2 i - S C B > = B T . @ < O 0 < S 2 0 0 5 V i 6 0 7 = = B 4 O 0 ' 2 E 5 0 = 7 V @ : 3 i O 2 8 = 8 V 4 ‘ @ 0 B > 5 @ E t i o n . 3 . 3 2 > W ? 0 < 5 B @ 8 7 = 0 @ O 4 C 0 F V 9 = 8 < < N T 3 > I > 1 1 B @ 0 = : 0 ? > B > @ V 2 0 N B L 2 V 4 = > : = 0 8 9 @ 0 @ h r b | в љ ў * д и к м hz* 6 Љ Њ уидЧПЧЕиЅиЅиЅиЅиЅиЅиЅ®џ®Ќ®џ}џp®e®Ќ®џ hz* ^J aJ hz* hz* CJ OJ QJ hz* hz* H* ^J aJ " hz* hz* 5 Ѓ\ Ѓ^J aJ mH" sH" hz* hz* ^J aJ mH hz* hz* ^J aJ mH" sH" mH sH sH hz* ^J aJ h^R- ^J mH sH h^R- mH љ 6 ъ Ћ sH hz* ћ Ф j $ $ If l ”` Ц0 я я Ц l aц l hz* ¤ ў h^R- 5 Ѓ\ Ѓ^J 5 Ѓ\ Ѓ^J aJ Д д н ‰ ‰ mH sH h^R- 5 Ѓ\ Ѓ^J љ * з Ф – E µ#Ђ E я я Ц ‰ j Щ ‰ Ђ p я я4Ц m Ф j j mH" sH" $ Щ ‰ Ф ’ j ђ j ‰ edД\ i ц µ# 6 Ц ” – !i Ф I я j kd я Ц ‰ $ Ж E H $ If a$ Ж E ‹$ dh &d PЖ я edЊO.D КW ґZ ээ 6 м ¶" 6# Ф Ь$ j j T ґ ф & ё) °A ЮD кO tQ њQ nR ч Ы 7# j Ш И » я Ф g- » я Ф оы- » я r Ф Ф j x+ л И л » й Ф j » » Ф j » я Ф Цї » я Ф OU, » Ф j » я Ф КqB » Ф j » Ф j » T 7$ 8$ H$ `„T edЄjЉy „T 7$ 8$ H$ `„T edЄjЉygdz* Ф j 0$ „ „ „7# & #$ +Dи /„µ 0$ 7$ 8$ H$ edU а@gdz* edД\ igdz* Њ ђ ’ ѕ А Ь Ю R T І ґ Ё ¬ ® ґ ¶ т ф ё є Ю уиЩКЩєЩ®Ў— ‰—®ѓ®ѓ®w®wj®`®P® j hz* U ^J aJ mH" sH" hz* ^J mH" sH" hz* H* ^J aJ mH" sH" h z* ^J aJ mH sH hz* ^J jq h^R- U ^J mH sH h^R- ^J mH sH hz* hz* ^J mH" sH" hz* ^J aJ mH" sH" hz* hz* H* ^J aJ mH" sH" hz* hz* ^J aJ mH sH hz* hz* ^J aJ mH" sH" hz* hz* ^J aJ hz* hz* H* ^J aJ Ю а в д $ & ¬ ® "- $- H- J- L- N- ж и p r L" N" P" R" X" Z" `" b" d" мЪКѕґѕ§ѕКѕ”‚Кѕ§ѕ|ѕthYtNtCh j ° hz* ^J aJ j ё hz* ^J aJ j > hz* ^J aJ mH sH hz* ^J aJ mH sH hz* ^J aJ hz* ^J # j1 hz* EHцяU ^J aJ mH" sH" % jа=ФJ hz* U V ^J aJ mH" sH" hz* H* ^J aJ mH" sH" hz* ^J mH" sH" hz * ^J aJ mH" sH" j hz* U ^J aJ mH" sH" # j hz* EHъяU ^J aJ mH" sH" % jЯ=ФJ hz* U V ^J aJ mH" sH" d" h" ґ" ¶" B# F# H# N# P# R# Ъ$ Ь$ є% ѕ% А% Ж% И% К% Љ' Њ' °' І' ґ' ¶' К' М' р' т' ф' ц' ( ( 6( 8( шмжмЪшЪСшмжмЪшЪСшмБм®њБмБм‰wБмБмd % jг=ФJ hz* U V ^J aJ mH" sH" # jш hz* EHшяU ^J aJ mH" sH" % jв=ФJ hz* U V ^J aJ mH" sH" # j1 hz* EHъяU ^J aJ mH" sH" % jб=ФJ hz* U V ^J aJ mH" sH" j hz* U ^J aJ mH" sH" hz* H* ^J aJ hz* ^J aJ mH sH hz* ^J hz* ^J aJ mH" sH" hz* ^J aJ !8( :( $> .> 0> 6> 8> :> F> H> J> L> P> R> V> b> d> ? Ћ? ђ? –? нЭСЛЙСЅ°СЅ°СЅСЅ°СЅ°СЅ°СЅ°СЅСЅЁЅџЁСЁСЁСЁС°СЅ°СЅџЁЅџЁСЅ– ЁСЅЁЅ hz* H* ^J aJ hz* H* ^J aJ h; І= h> p; ґ= l> r М Љ
Додаткова інформація
Назва патенту англійськоюMethod for obtaining n-channel mos transistors having a negative threshold voltage
Автори англійськоюNovosiadlyi Stepan Petrovych, Berezhanskyi Volodymyr Mykhailovych
Назва патенту російськоюСпособ получения n- moп-транзисторов с отрицательным пороговым напряжнением
Автори російськоюНовосядлый Степан Петрович, Бережанский Владимир Михайлович
МПК / Мітки
МПК: H01C 8/00
Мітки: від`ємною, отримання, спосіб, пороговою, напругою, n-moн-транзисторів
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/282-27540-sposib-otrimannya-n-mon-tranzistoriv-z-videhmnoyu-porogovoyu-naprugoyu.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб отримання n-moн-транзисторів з від`ємною пороговою напругою</a>
Спосіб отримання надтонкого шару оксиду для транзисторів з ефектом пам’яті
Номер патенту: 22865
Опубліковано: 25.04.2007
Автори: Ларкін Сергій Юрійович, Воронько Андрій Олександрович
МПК: H01L 21/265, H01L 21/70
Мітки: транзисторів, надтонкого, пам'яті, оксиду, отримання, шару, ефектом, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб отримання тонких шарів оксиду SiO2, за яким тонкий шар оксиду осаджують з газової фази, відпалюють у атмосфері сухого азоту та опромінюють іонами кремнію, який відрізняється тим, що як імплантовані іони Si використовують низькоенергійні іони Si+ з енергією 1-2 кеВ, а відпал здійснюють при температурі 1030-1070 °С протягом 25-30 хв у атмосфері з вмістом кисню з залишковим тиском кисню 45-50 мбар.
Джерело з об’ємною генерацією негативних іонів
Номер патенту: 71164
Опубліковано: 15.11.2004
Автори: Батурин Володимир Андрійович, Литвинов Петро Олексійович
МПК: H01J 27/02
Мітки: негативних, джерело, іонів, генерацією, об`ємною
Формула / Реферат:
1. Джерело з об'ємною генерацією негативних іонів, що має анод, катод і магніти, яке відрізняється тим, що анод, який утворює з катодом, що має нерівний переріз, дві газорозрядні камери нерівного об'єму, зв'язані між собою контрагуючим кільцевим каналом, а другим контрагуючим кільцевим каналом більша газорозрядна камера зв'язана з емісійною, крім того, магніти встановлені за межами всіх камер коаксіально аноду.2. Джерело з об'ємною...
Спосіб вимірювання масових витрат рідини із змінною об`ємною густиною
Номер патенту: 35838
Опубліковано: 16.12.2002
Автор: Кондратець Василь Олександрович
МПК: G01F 1/20
Мітки: густиною, витрат, вимірювання, спосіб, рідини, змінною, масових, об`ємною
Формула / Реферат:
1. Спосіб вимірювання масових витрат рідини із змінною об'ємною густиною, що полягає в акумулюванні та випуску рідини з накопичувальної ємності і визначенні параметрів потоку, який відрізняється тим, що рідину із акумулюючої ємності випускають через патрубок, визначають гідродинамічне зусилля на виході із патрубка, рівень рідини, шуканий параметр знаходять як відношення гідродинамічного зусилля до кореня квадратного із величини рівня рідини...
Спосіб випробування кабельних виробів напругою
Номер патенту: 8899
Опубліковано: 30.09.1996
Автори: Верижников Василь Григорович, Шмейлін Залман Йосифович
МПК: G01R 31/08
Мітки: випробування, виробів, спосіб, кабельних, напругою
Формула / Реферат:
Способ испытания кабельных изделий напряжением, включающий периодическое воздействие импульсами высокого напряжения на испытуемое изделие и измерение параметра затухания свободных колебаний на нагрузке, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и расширения функциональных возможностей за счет обеспечения возможности обнаружения дефектных мест изоляции под целостным шлангом, выбирают в качестве параметра затухания время...
Спосіб контролю ступеня забрудненості поверхні ізоляторів під напругою
Номер патенту: 17315
Опубліковано: 15.09.2006
Автори: Сіріков Олександр Іванович, Серебренніков Сергій Валентинович
МПК: H02H 7/26
Мітки: контролю, поверхні, ступеня, ізоляторів, спосіб, забрудненості, напругою
Формула / Реферат:
1. Спосіб контролю ступеня забрудненості поверхні ізоляторів під напругою, який полягає у вимірюванні струму витоку ізолятора і контролю за його значенням стану забруднення поверхні, який відрізняється тим, що для відстроювання від неінформативного об'ємного струму витоку використовують охоронне кільце.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що для відстроювання від хибних спрацьовувань внаслідок збільшення активної і ємнісної...
Попередній патент: Буйково-поплавцевий рекламоносій
Наступний патент: Спосіб виявлення втрат газу в газопроводі
Випадковий патент: Робочий орган для внесення безводного аміаку на луках