Патенти з міткою «пристірй»

Номер патенту: 20037

Опубліковано: 25.12.1997

Автори: Богданова Олександра Василівна, Пісак Роман Петрович, Таранчук Альвіан Віталієвич, Гусинка Іван Йосифович, Дуркот Мирон Олексійович, Тарнай Андрій Амбросієвич, Петров В'ячеслав Васильович

МПК: C23C 14/26

Мітки: нанесення, пристірй, покриття

Формула / Реферат:

Пристрій для нанесення покриття, який включає   в   себе   вакуумну   камеру   з розміщеним в її порожнині резистивним випаровувачем, систему подачі речовини, що випаровується, який відрізняється тим, що резистивний випаровувач виконаний у вигляді принаймні двох екранів циліндричної форми, розміщених коаксіально один відносно одного, а кожен з екранів має отвори, причому будь-який Із отворів одного екрану зміщений відносно отвору другого...