Таранчук Альвіан Віталієвич
Пристірй для нанесення покриття
Номер патенту: 20037
Опубліковано: 25.12.1997
Автори: Петров В'ячеслав Васильович, Богданова Олександра Василівна, Дуркот Мирон Олексійович, Таранчук Альвіан Віталієвич, Тарнай Андрій Амбросієвич, Гусинка Іван Йосифович, Пісак Роман Петрович
МПК: C23C 14/26
Мітки: покриття, нанесення, пристірй
Формула / Реферат:
Пристрій для нанесення покриття, який включає в себе вакуумну камеру з розміщеним в її порожнині резистивним випаровувачем, систему подачі речовини, що випаровується, який відрізняється тим, що резистивний випаровувач виконаний у вигляді принаймні двох екранів циліндричної форми, розміщених коаксіально один відносно одного, а кожен з екранів має отвори, причому будь-який Із отворів одного екрану зміщений відносно отвору другого...