Гусинка Іван Йосифович
Пристірй для нанесення покриття
Номер патенту: 20037
Опубліковано: 25.12.1997
Автори: Тарнай Андрій Амбросієвич, Таранчук Альвіан Віталієвич, Гусинка Іван Йосифович, Дуркот Мирон Олексійович, Пісак Роман Петрович, Богданова Олександра Василівна, Петров В'ячеслав Васильович
МПК: C23C 14/26
Мітки: пристірй, покриття, нанесення
Формула / Реферат:
Пристрій для нанесення покриття, який включає в себе вакуумну камеру з розміщеним в її порожнині резистивним випаровувачем, систему подачі речовини, що випаровується, який відрізняється тим, що резистивний випаровувач виконаний у вигляді принаймні двох екранів циліндричної форми, розміщених коаксіально один відносно одного, а кожен з екранів має отвори, причому будь-який Із отворів одного екрану зміщений відносно отвору другого...