Патенти з міткою «слабколетких»
Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки
Номер патенту: 92525
Опубліковано: 10.11.2010
Автори: Мокренко Олександр Анатолійович, Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович
МПК: C23C 14/35, H01J 27/02, C23C 14/24 ...
Мітки: слабколетких, вакуумі, речовин, металів, нанесення, покриттів, плоскі, надпоруватих, пристрій, розпилювальний, підкладки
Формула / Реферат:
1. Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки, що містить анод та катод у вигляді пустотілого зрізаного конуса з отвором, зверненим до анода, зрізаний конус катода закріплений на основі, що з'єднана з охолоджуваним тримачем, і всередині пустотілого зрізаного конуса, в нижній його частині, розташована підкладка, поблизу поверхні якої розміщена заслінка, для...