Патенти з міткою «надпоруватих»

Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки

Завантаження...

Номер патенту: 92525

Опубліковано: 10.11.2010

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Мокренко Олександр Анатолійович

МПК: H01J 27/02, C23C 14/24, C23C 14/35 ...

Мітки: слабколетких, підкладки, речовин, пристрій, металів, розпилювальний, нанесення, покриттів, плоскі, вакуумі, надпоруватих

Формула / Реферат:

1. Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки, що містить анод та катод у вигляді пустотілого зрізаного конуса з отвором, зверненим до анода, зрізаний конус катода закріплений на основі, що з'єднана з охолоджуваним тримачем, і всередині пустотілого зрізаного конуса, в нижній його частині, розташована підкладка, поблизу поверхні якої розміщена заслінка, для...

Спосіб одержання надпоруватих шарів електропровідних матеріалів

Завантаження...

Номер патенту: 83371

Опубліковано: 10.07.2008

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Корнющенко Ганна Сергіївна, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: C23C 14/35, C23C 14/22, C23C 14/34 ...

Мітки: електропровідних, одержання, спосіб, матеріалів, надпоруватих, шарів

Формула / Реферат:

Спосіб одержання надпоруватих шарів електропровідних матеріалів, який включає перехід речовини з конденсованого стану в стан пари і конденсацію на підкладку за умов наближення до фазової рівноваги системи пара-конденсат при відповідних підвищених температурах осадження, який відрізняється тим, що пари речовини іонізують і конденсацію проводять на підкладку, до якої підводять від'ємний потенціал, та на поверхню росту кристалу діють потоком...