Патенти з міткою «статичною»

Номер патенту: 21275

Опубліковано: 04.11.1997

Автори: Соловйов Іван Іванович, Соловйова Любов Валентинівна

МПК: H01L 21/02

Мітки: статичною, транзисторів, виготовлення, спосіб, індукцією

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления транзисторов со статической индукцией, включающий выращивание на кремниевой подложке эпитаксального слоя первого типа проводимости, формирование на эпитаксальном слое слоев нитрида и оксида кремния, формирование из слоев нитрида и оксида кремния маски, формирование областей затвора второго типа проводимости, стравливание части толщины эпитаксального слоя через маску, выращивание на эпитаксальном слое термического оксида...