Патенти з міткою «тензоелементів»

Номер патенту: 40096

Опубліковано: 25.03.2009

Автори: Антонченко Ніна Анатоліївна, Жавжаров Євген Леонідович, Матюшин Володимир Михайлович

МПК: C23C 14/06, C23C 14/58

Мітки: спосіб, виготовлення, тензоелементів, тонкоплівкових

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення тонкоплівкових тензоелементів, який включає етап нанесення тонких металевих плівок на діелектричну підкладинку методом напилення у вакуумі та наступний етап обробки, який відрізняється тим, що обробка гетероструктури з плівкою відбувається за кімнатних температур одностадійно в атмосфері електрично-нейтрального атомарного водню в вакуумній установці.