Антонченко Ніна Анатоліївна
Спосіб виготовлення тонкоплівкових тензоелементів
Номер патенту: 40096
Опубліковано: 25.03.2009
Автори: Антонченко Ніна Анатоліївна, Матюшин Володимир Михайлович, Жавжаров Євген Леонідович
МПК: C23C 14/58, C23C 14/06
Мітки: тензоелементів, виготовлення, тонкоплівкових, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення тонкоплівкових тензоелементів, який включає етап нанесення тонких металевих плівок на діелектричну підкладинку методом напилення у вакуумі та наступний етап обробки, який відрізняється тим, що обробка гетероструктури з плівкою відбувається за кімнатних температур одностадійно в атмосфері електрично-нейтрального атомарного водню в вакуумній установці.