Патенти з міткою «зондова»

Номер патенту: 19435

Опубліковано: 15.12.2006

Автори: Сизов Федір Федорович, Андрєєва Катерина Вікторівна, Лисюк Ігор Олександрович, Гузенко Генадій Олексійович

МПК: G01R 1/00

Мітки: зондова, установка, електрофізичних, напівпровідникових, структур, вимірювання, характеристик

Формула / Реферат:

Зондова установка для вимірювання електрофізичних характеристик напівпровідникових структур, що складається з станини, П-подібного кронштейна з закріпленим на ньому мікроскопом, координатного столика, розташованого під мікроскопом, двох приводів горизонтального переміщення і приводу вертикального переміщення координатного столика і зондів, що забезпечують електричні контакти з елементами, що тестуються, яка відрізняється тим, що установка...